光学半导体器件制造技术

一种光学半导体器件，包括：第一波导，输入光被输入到第一波导中；环形调制器，被设置为与第一波导光耦合；第一环形谐振器，被设置为与第一波导光耦合，并具有比所述环形调制器的光程长度小的光程长度；第二环形谐振器，被设置为与第一波导光耦合，并具有比所述环形调制器的光程长度大的光程长度；加热器，被设置为与所述环形调制器、第一环形谐振器及第二环形谐振器相邻；第一光检测器，被配置为监测所述第一环形谐振器中的光功率；第二光检测器，被配置为监测所述第二环形谐振器中的光功率；以及控制器，基于所述第一光检测器和第二光检测器所检测的信号控制所述加热器，以使所述环形调制器的谐振波长与所述输入光的波长一致。

【技术实现步骤摘要】

本文所讨论的实施例涉及光学半导体器件。
技术介绍
对于小型化、大容量和低功耗的光发射器和光接收器而言，在硅上实现光学器件至关重要。硅上光学器件可使用大的折射率差值的光波导，与其它材料上的光学器件相比，更有利于小型化，这便于与其它电子电路进行集成，从而许多个光发射器和光接收器可集成在一个芯片上。在光学器件中，尤其是调制器的特性会对光发射器和光接收器的功耗和尺寸产生影响。尤其是，自身为小尺寸并具有小的调制器电压和小的光插入损耗的环形调制器有利于小型化和低功耗。相关的实例如下美国专利公开No. 2009/0169149A1，以及日本特许专利公开 No.2008-268276。然而，环形调制器具有使调制效率变高的同时缩窄波长带宽的问题。
技术实现思路
因此，实施例的一个方案的目的是提供一种可通过使用环形谐振器来高效率调制输入光的光学半导体器件。根据实施例的一个方案，提供一种光学半导体器件，包括第一波导，输入光被输入到所述第一波导中；环形调制器，被设置为与所述第一波导光耦合；第一环形谐振器，被设置为与所述第一波导光耦合，并具有比所述环形调制器的光程长度小的光程长度；第二环形谐振器，被设置为与所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学半导体器件，包括：第一波导，输入光被输入到所述第一波导中；环形调制器，被设置为与所述第一波导光耦合；第一环形谐振器，被设置为与所述第一波导光耦合，并具有比所述环形调制器的光程长度小的光程长度；第二环形谐振器，被设置为与所述第一波导光耦合，并具有比所述环形调制器的光程长度大的光程长度；加热器，被设置为与所述环形调制器、所述第一环形谐振器以及所述第二环形谐振器相邻；第一光检测器，被配置为监测所述第一环形谐振器中的光功率；第二光检测器，被配置为监测所述第二环形谐振器中的光功率；以及控制器，用于基于所述第一光检测器和所述第二光检测器所检测的信号控制所述加热器，以使所述环形调制器的谐振波长与所述...

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：秋山知之，
申请(专利权)人：富士通株式会社，
类型：发明
国别省市：