光学半导体元件制造技术

技术编号:8386622 阅读:199 留言:0更新日期:2013-03-07 06:46
一种包括光学半导体元件的装置,该光学半导体元件包括:波导,输入光被输入到所述波导中;多个环形调制器,具有不同的光学周长,且被光耦合至所述波导;以及控制单元,被配置为选择性地将调制信号施加给谐振波长与所述输入光的波长相同的所述多个环形调制器的至少之一。由于设置了多个具有不同谐振波长的环形调制器,并且选择性地驱动谐振波长与CW光的波长相同的环形调制器,因而可实现高效率调制和宽波段内的波长控制。

【技术实现步骤摘要】

本文所讨论的实施例涉及一种光学半导体元件
技术介绍
为了降低光收发器的尺寸和功耗并提高光收发器的性能(capacity),将光学器件 设置在硅衬底上至关重要。由于形成在硅衬底上的光学器件可使用具有大的相对折射率差 值的光波导,因而这种光学器件有利于减小光收发器的尺寸,并可与电子电路集成。因此, 一个芯片可包括多个光收发器。尤其是,作为光学器件的调制器的特性会对光收发器的功耗和尺寸产生很大影 响。由于环形调制器具有小的元件尺寸、小的调制电压以及小的光损耗,因此环形调制器有 利于减小光收发器的尺寸和降低其功耗。美国专利公开No.2009/0169149日本特许专利公开No.2005-055882。然而,在环形调制器中,当环形调制器的调制效率被提高时,可进行调制的波段会缩窄。
技术实现思路
本公开提供一种能够实现高调制效率和宽波段的光学半导体元件。根据本专利技术的一个方案,一种包括光学半导体元件的装置,该光学半导体元件包 括波导,输入光被输入到所述波导中;多个环形调制器,具有不同的光学周长,并且被光 耦合至所述波导;以及控制单元,被配置为选择性将调制信号施加给谐振波长与所述输入 光的波长相本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学半导体元件,包括:波导,输入光被输入到所述波导中;多个环形调制器,具有不同的光学周长,并且所述环形调制器被光耦合至所述波导;以及控制单元,被配置为选择性地将调制信号施加至谐振波长与所述输入光的波长相同的所述多个环形调制器的至少之一。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:秋山知之
申请(专利权)人:富士通株式会社
类型:发明
国别省市:

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