硅基集成啁啾光栅可调光延迟线制造技术

技术编号:8386623 阅读:273 留言:0更新日期:2013-03-07 06:46
本发明专利技术公开了一种硅基集成啁啾光栅可调光延迟线,包括在绝缘体上硅基底上两个重掺杂区域及该两个重掺杂区域之间的本征区的光波导变迹光栅,所述的两个重掺杂区域为p型和n型重掺杂区域或p型和p型重掺杂区域,形成p-i-n结或p-i-p结构形式,所述的光波导变迹光栅是由高折射率差的硅基材料构成,中间为常规硅波导,旁边为硅锯齿和空气缝相间形成的光栅,在所述的p型重掺杂区域和n型重掺杂区上淀积金属电极,用来和外部电路相连以加载电压。通过改变外加电压可以改变光栅的啁啾量,实现对光信号延迟量的动态调节,具有加工简单,调节迅速,可调范围大等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光通信
的集成器件,特别是一种硅基集成啁啾光栅可调光延迟线
技术介绍
可调光延迟线是光通信网络、全光信息处理中的重要器件。在光通信网络中,尤其是在光分组交换网中,可调光延迟线能够按系统的需求提供一定的延迟时间来进行包头处理和解决不同用户竞争同一信道的网络冲突问题,从而提高网络节点的吞吐量,降低丢包率;在光信号处理方面,可调光延迟线可以增强主机的通信能力,增加整个系统的性能以及实现高效可重构光学信号处理等。传统的实现可调光延迟线的方法是采用啁啾光纤光栅,通过改变载波光源的波长来改变光信号反射的位置,从而实现对光信号的可调延迟,这种方案需要同步可调的激光源和可调的滤波器,系统比较复杂。用啁啾光纤光栅对特定波长·实现光可调延迟线,可以采用调节温度、应力以及磁场等来改变光纤光栅的折射率,同样使得特定波长的光信号的反射位置的不同来实现可调延迟。这两种啁啾光纤光栅实现可调光延迟线的方案都有所需器件体积大、反应慢、时间分辨率差等缺点。近年来,随着光电子技术和半导体加工工艺的不断发展,硅基光子学的研究在国内外取得引人注目的成就。在硅基上实现可调光延迟线的方案也有很多种,主要包本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅基集成啁啾光栅可调光延迟线,其特征在于,构成包括在绝缘体上硅基底上两个重掺杂区域及该两个重掺杂区域之间的本征区的光波导变迹光栅,所述的两个重掺杂区域为p型和n型重掺杂区域或p型和p型重掺杂区域,形成p?i?n结或p?i?p结构形式,所述的光波导变迹光栅是由高折射率差的硅基材料构成,中间为常规硅波导,旁边为硅锯齿和空气缝相间形成的光栅,在所述的p型重掺杂区域和n型重掺杂区上淀积金属电极,用来和外部电路相连以加载电压。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:邹志周林杰谢静雅陆梁军孙晓萌孙丽丽李新碗陈建平
申请(专利权)人:上海交通大学
类型:发明
国别省市:

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