【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于薄膜沉积
，具体涉及一种电主动调制的近红外薄膜型滤波器件。
技术介绍
近红外波段是指波长在I μ m-3 μ m的光波，在此波段工作的滤波器件被广泛应用于光通讯领域。在光通讯领域，远距离通讯是主要发展的方向之一。典型的远程收发器信号在未经放大的条件下至少能传输100公里，其目的主要是省掉昂贵的光放大器，降低光通讯的成本。基于传输距离上的考虑，很多远程收发器都选择了 1550波段(波长范围约为1530到1565nm)作为工作波段。用于光通信的通信设备体积越来越小，接口板包含的接口密度越来越高，要求光电器件向低成本、低功耗的方向发展。目前的小封装光模块也都采用低电·压3. 3v供电，保证了端口的增加不会提高系统的功耗。薄膜型滤波器件通过镀膜的方法实现所需的滤波特性，具有结构简单、厚度薄、重量轻和功耗低等特点。结构简单是指器件的功能实现只需要在基底上镀制设计好的膜层结构即可。厚度薄是指镀制的薄膜总厚度在微米尺度。重量轻是指薄膜在三维尺度上的重量和基底相比可以忽略不计。功耗低是指只需要较低的驱动电压即可实现所需的滤波特性。因此薄膜型滤波器件是一种在光...
【技术保护点】
一种电主动调制的近红外薄膜型滤波器件，包括基底（1），其特征是，在基底（1）上面的光学透过区交替沉积多层Si材料层（7）和SiO2材料层（8），在基底（1）上面的两侧分别沉积Si掺杂的P型正电极区（2）和Si掺杂的N型负电极区（3）；P型正电极区（2）和N型负电极区（3）分别通过导线（6）连接到外接偏压的正极（4）和负极（5）上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王彤彤，宋琦，高劲松，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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