下载硅基集成啁啾光栅可调光延迟线的技术资料

文档序号:8386623

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本发明公开了一种硅基集成啁啾光栅可调光延迟线,包括在绝缘体上硅基底上两个重掺杂区域及该两个重掺杂区域之间的本征区的光波导变迹光栅,所述的两个重掺杂区域为p型和n型重掺杂区域或p型和p型重掺杂区域,形成p-i-n结或p-i-p结构形式,所述的...
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