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光学半导体器件制造技术
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文档序号:8386621
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一种光学半导体器件,包括:第一波导,输入光被输入到第一波导中;环形调制器,被设置为与第一波导光耦合;第一环形谐振器,被设置为与第一波导光耦合,并具有比所述环形调制器的光程长度小的光程长度;第二环形谐振器,被设置为与第一波导光耦合,并具有比所...
该专利属于富士通株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士通株式会社授权不得商用。
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