晶圆花篮卡具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆花篮卡具，包括卡具本体，卡具本体下部的两侧各设置有卡槽，卡槽的顶端具有支撑面。本实用新型专利技术结构简单，能够提高晶圆花篮清洗硅晶圆片的质量。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种晶圆花篮卡具，用于半导体湿法清洗设备中。
技术介绍
目前，在现代半导体制造技术中，清洗硅晶圆片是贯穿工艺制造流程中必不可少的关键步骤，如果硅晶圆片表面的洁净度质量达不到要求，无论其它工艺步骤控制的多优秀，也不可能获得高质量的半导体器件，清洗花篮及其卡具是硅晶圆片清洗工艺的重要工具，市场上也有一种晶圆花篮卡具，它利用花篮底板支撑，该结构的晶圆花篮因为底部有遮挡面，清洗效果不理想，清洗的质量不高。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术的缺陷，提供一种结构简单、能够提高晶圆花篮清洗硅晶圆片质量的晶圆花篮卡具。实现本技术目的的技术方案是一种晶圆花篮卡具，包括卡具本体，卡具本体下部的两侧各设置有卡槽，卡槽的顶端具有支撑面。进一步，所述的卡槽为L型卡槽。更进一步，所述的卡具本体由聚四氟乙烯材料制成。采用了上述技术方案后，晶圆花篮是标准件，晶圆花篮的侧边上具有卡边，卡边的上方具有能够抵住卡具的支撑面的板块，将花篮的卡边卡进卡具本体的卡槽中，并利用板块抵住卡具的支撑面，从而实现从晶圆花篮的侧面支撑晶圆花篮，避免了从晶圆花篮底面支撑晶圆花篮，清洗效果更好，保证了清洗质量，而且卡具整体式设计，没有连接缝隙，不会藏有微粒，当装载花篮进入槽内清洗时，不会影响到化学药品的洁净度；本技术采用聚四氟乙烯材料制造，聚四氟乙烯具有抗酸抗碱、抗各种有机溶剂的特点，几乎不溶于所有的溶剂，同时，聚四氟乙烯具有耐高温的特点，这样，就不会发生卡具在清洗时因为多次的清洗液的腐蚀而不能使用的现象。附图说明图I为本技术的卡具本体的立体图；图2为晶圆花篮的立体图；图3为本技术与晶圆花篮装配后的立体图。具体实施方式为了使本技术的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本技术作进一步详细的说明，如图I所示，一种晶圆花篮卡具，包括卡具本体11，卡具本体11下部的两侧各设置有卡槽I，卡槽I的顶端具有支撑面2。卡槽I为L型卡槽。卡具本体11由聚四氟乙烯材料制成。本技术的工作原理如下如图2、3所示，晶圆花篮12是标准件，晶圆花篮12的侧边上具有卡边3，卡边3的上方具有能够抵住卡具的支撑面2的板块4，将晶圆花篮12的卡边3卡进卡具本体11的卡槽I中，并利用板块4抵住卡具的支撑面2，从而实现从晶圆花篮12的侧面支撑晶圆花篮12，避免了从晶圆花篮12底面支撑晶圆花篮12，清洗效果更好，保证了清洗质量，而且卡具整体式设计，没有连接缝隙，不会藏有微粒，当装载花篮进入槽内清洗时，不会影响到化学药品的洁净度；本技术采用聚四氟乙烯材料制造，聚四氟乙烯具有抗酸抗碱、抗各种有机溶剂的特点，几乎不溶于所有的溶剂，同时，聚四氟乙烯具有耐高温的特点，这样，就不会卡具发生在清洗时因为多次的清洗液的腐蚀而不能使用的现象。以上所述的具体实施例，对本技术的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本技术的具体实施例而已，并不用于限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包·含在本技术的保护范围之内。权利要求1.一种晶圆花篮卡具，包括卡具本体(11)，其特征在于卡具本体(11)下部的两侧各设置有卡槽(1)，卡槽(I)的顶端具有支撑面(2)。2.根据权利要求I所述的晶圆花篮卡具，其特征在于所述的卡槽(I)为L型卡槽。3.根据权利要求I所述的晶圆花篮卡具，其特征在于所述的卡具本体(11)由聚四氟乙烯材料制成。专利摘要本技术公开了一种晶圆花篮卡具，包括卡具本体，卡具本体下部的两侧各设置有卡槽，卡槽的顶端具有支撑面。本技术结构简单，能够提高晶圆花篮清洗硅晶圆片的质量。文档编号H01L21/683GK202712148SQ201220219699公开日2013年1月30日 申请日期2012年5月16日 优先权日2012年5月16日专利技术者金金明 申请人:硅密(常州)电子设备有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆花篮卡具，包括卡具本体（11），其特征在于：卡具本体（11）下部的两侧各设置有卡槽（1），卡槽（1）的顶端具有支撑面（2）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：金金明，
申请(专利权)人：硅密常州电子设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：