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本实用新型公开了一种晶圆花篮卡具，包括卡具本体，卡具本体下部的两侧各设置有卡槽，卡槽的顶端具有支撑面。本实用新型结构简单，能够提高晶圆花篮清洗硅晶圆片的质量。...
该专利属于硅密（常州）电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过硅密（常州）电子设备有限公司授权不得商用。

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