降低静电放电的设备及方法技术

本发明专利技术提供一种适于用以测试或处理基板的系统的基板支撑件单元。该基板支撑件单元包含：支撑件台桌，该支撑件台桌具有至少一个基板承载件结构，该基板承载件结构适于支撑基板，该基板承载件结构相对于接地端为电气浮置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
技术介绍
专利技术的领域本专利技术的实施例大体是关于用于基板的测试及/或处理系统以及测试及/或处理基板的方法，具体而言是关于用于玻璃基板的测试系统以及测试测试玻璃基板上的电子结构的方法。更具体而言，本专利技术是关于用于平面面板显示器生产中的大面积基板的整合测试系统。详细地说，实施例是关于用以降低静电放电的组件、基板支撑件单元、用以测试或处理基板上的电子装置的设备、用以降低静电放电的方法、及用以测试及/或处理大面积基板上的多个电子装置的方法。现有技术的描述近来，平面面板显示器已经变得越来越普及且广泛地被用来取代阴极射线管显示·器。大致上，可使用不同类型的平面面板显示器。举例而言，主动式矩阵液晶显示器(LCDs)是显示器的一种类型。又，也可使用包括OLED或等离子体显示器在内的显示器。相较于CRT，IXD、0LED显示器或等离子体显示器具有若干优点，包括更高的画面品质、更轻的重量、更低的电压需求、及低功率消耗。显示器在电脑屏幕、移动电话、电视、及诸如此类者中具有许多应用。大致上，对于IXD、OLED或等离子体显示器，提供有基板上的像素构件的电子控制。举例而言，主动式矩阵LCD包括夹置在薄膜晶体管(TFT)阵列基板与彩色滤光片基板之间的液晶材料，以形成平面面板显示器。TFT基板包括薄膜晶体管的阵列(各个薄膜晶体管耦接到一像素电极)及彩色滤光片基板，彩色滤光片基板包括不同的彩色滤光片部分与一共用电极。当特定电压被施加到像素电极时，像素电极与共用电极之间建立电场，将液晶材料定向成针对此特定像素容许光通过液晶材料。在制造显示器的期间，需要测试平面面板基板以决定各个像素的操作性。电压成像、电荷感应、及电子束测试是在制造过程期间一些用来监控且解决缺陷的工序。举例而言，在电子束测试期间，像素的响应被监控，以提供缺陷信息。在电子束测试的一实例中，特定电压被施加到像素电极，并且在调查期间电子束可被引导到各个像素电极。从像素电极区域放射出的二级电子被感应，以决定电极电压。可对IXD显示器(诸如TFT)、OLED显示器、及等离子体显示器提供其他测试程序。大致上，对于测试程序，承载有显示器或一部分的显示器的基板设置在测试设备中或在测试设备上。从财务观点及设计观点而言，处理设备的尺寸与产能对于平面面板显示器制造业者来说是关注的重点。因此，平面面板显示器或用于平面面板显示器的基板及其他大面积电子装备必须小心地被处置，以避免降低制造过程的良率。目前的8.5代(G 8. 5)的平面面板显示器大致上可容纳高达约2200mmX 2500mm且更大的大面积基板。当搬运大面积基板时，已经观察到静电放电，该静电放电可能造成缺陷。对于更大的显示器、增加的产能、及更低的制造成本的需求已经产生了对经改善的处理与测试系统的需求，该经改善的处理与测试系统可改善基板良率而满足生产标准。所以，需要在大面积基板上执行测试的测试系统以及用以测试大面积基板的方法，藉此可提供经改善的基板处理。
技术实现思路
鉴于前述，提供根据独立权利要求I的一种基板支撑件单元、根据独立权利要求10的一种用以测试或处理基板上的电子装置的设备、及根据独立权利要求13的一种用以搬运基板的方法。根据一实施例，提供一种基板支撑件单元。该基板支撑件单元适于用以测试或处理基板的系统，并且该基板支撑件单元包含支撑件台桌，该支撑件台桌具有至少一个基板承载件结构，该基板承载件结构适于支撑基板，该基板承载件结构相对于接地端为电气浮置。在一实施例中，提供一种用以测试或处理基板的设备。该设备包含腔室，该腔室内设置有基板；及基板支撑件单元，该基板支撑件单元具有至少一个基板承载件结构，该基 板承载件结构适于当该基板被放置在该基板承载件结构上时能支撑该基板，其中该基板承载件结构相对于接地端为电气浮置。在另一实施例中，提供一种用以测试或处理一基板的方法。该方法包含装载该基板于一腔室中的一基板承载件结构上，其中该基板承载件结构与接地端电绝缘；执行测试与处理该基板的至少一者；将该基板从该基板承载件结构卸载；及将该基板承载件结构与接地端电连接。附图简要说明可藉由参考本专利技术的实施例(其中一些实施例在附图中示出)来获得在上文中简短概述过的本专利技术的更为具体的说明，从而可详细了解本专利技术的上述特征的方式。但是应注意的是，附图仅示出本专利技术的典型实施例，因此典型实施例不应被视为会对本专利技术范畴构成限制，因为本专利技术可允许其他等效实施例。图I显示测试系统，本文描述的实施例可用在该测试系统中。图2显示测试系统的细节结构，该测试系统可与本文描述的实施例共同使用。图3A-3C图示在测试基板的期间静电电荷的发生。图4A-4D图示根据降低静电放电的实施例的方法的工序。图5显示根据本文描述的实施例的测试系统的示意图。图6A和6B显示根据本文描述的实施例的基板支撑件单元。图7显示根据本文描述的实施例的基板支撑件单元的细节结构。图8显示根据本文描述的实施例的基板支撑件单元的细节结构。图9显示根据本文描述的实施例的方法的工序的流程图。附图说明图10显示根据本文描述的实施例的测试基板的期间的静电电压变化。图IlA和IlB显示在升高期间基板-支撑件间隔分布。为促进了解，在可能时使用相同的元件符号来表示这些附图共有的相同元件。应了解，一实施例的元件可有利地并入到其他实施例而不需特别详述。具体描述本文描述的术语电子装置或电子元件是指被提供在基板(尤其是介电基板，例如玻璃基板)上的电极、连接件、TFT、显示器、一个或更多个导电层、或诸如此类者。这样的电子装置或元件可用于像是LCD显示器、OLED显示器、或等离子体显示器的平面面板显示器。本文描述的实施例可用在各种测试与处理应用中。为了简化起见，下文所参考的是以电子束来测试显示器。然而，其他测试设备与测试方法(例如以光束)也可利用本文描述的实施例。根据可与本文描述的其他实施例结合的又进一步实施例，静电放电(ESD)电压降低也可应用到PVD或CVD处理工具或其他ESD重要应用，其中基板被移动至基板承载件结构或从基板承载件结构移开。作为另一实例，本文所述实施例可并入AKT EBT测试工具(如EBT 15ki、25k、25ki、40ki、49k、55k、55ki或90k)以及CVD和PVD工具中，或在以上工具上执行。大致上，本文使用的术语基板是指由例如介电材料(诸如玻璃、聚合材料、或适于具有电子装置形成于此材料上的其他基板材料)制成的大面积基板。本文描述的实施例涉及各种驱动器、马达、及致动器，该各种驱动器、马达、及致动器可以是下列的其中之一或下列的组合气动汽缸，液压汽缸，磁性驱动器，步进机或伺服马达，螺栓式致动器，或可提供垂直移动、水平移动、上述组合的其他类型的运动装置，或适于提供所描述运动的至少一部 分的其他装置。本文描述的各种部件可以在水平与垂直平面中进行独立移动。垂直被定义成正交于水平平面的移动且将被称为Z方向。水平被定义成正交于垂直平面的移动且将被称为X或Y方向，X方向的移动是正交于Y方向且反之亦然。将在附图中依需要以方向插入物来进一步定义Χ、γ与Z方向，以辅助读者。藉此，应了解，座标系统是为了便于参考而被使用，并且非正交或由于制造偏差或诸如此类者而稍微偏离正交座标系统的其他座标系统仍可被提供用于根据本专利技术的实施例。图I图示适本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：B·G·米勒，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：
国别省市：