降低静电放电的设备及方法技术

本发明专利技术提供一种适于用以测试或处理基板的系统的基板支撑件单元。该基板支撑件单元包含：支撑件台桌，该支撑件台桌具有至少一个基板承载件结构，该基板承载件结构适于支撑基板，该基板承载件结构相对于接地端为电气浮置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
技术介绍
专利技术的领域本专利技术的实施例大体是关于用于基板的测试及/或处理系统以及测试及/或处理基板的方法，具体而言是关于用于玻璃基板的测试系统以及测试测试玻璃基板上的电子结构的方法。更具体而言，本专利技术是关于用于平面面板显示器生产中的大面积基板的整合测试系统。详细地说，实施例是关于用以降低静电放电的组件、基板支撑件单元、用以测试或处理基板上的电子装置的设备、用以降低静电放电的方法、及用以测试及/或处理大面积基板上的多个电子装置的方法。现有技术的描述近来，平面面板显示器已经变得越来越普及且广泛地被用来取代阴极射线管显示·器。大致上，可使用不同类型的平面面板显示器。举例而言，主动式矩阵液晶显示器(LCDs)是显示器的一种类型。又，也可使用包括OLED或等离子体显示器在内的显示器。相较于CRT，IXD、0LED显示器或等离子体显示器具有若干优点，包括更高的画面品质、更轻的重量、更低的电压需求、及低功率消耗。显示器在电脑屏幕、移动电话、电视、及诸如此类者中具有许多应用。大致上，对于IXD、OLED或等离子体显示器，提供有基板上的像素构件的电子控制。举例而言，主动式矩阵LCD包括夹置在薄膜晶本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：B·G·米勒，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：
国别省市：