基于显微视觉的微器件装配在线检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基于显微视觉的微器件装配在线姿态检测装置，适用于微器件姿态检测并实现两者之间进行对准、装配，该装置包括：控制主机、三路正交显微视觉系统、视觉系统姿态调整机构、微器件夹持装置，微器件姿态调整运动机构、光源系统和数字样机组成，系统总共具有25个自由度。其中，两个微器件安装在相应的夹持器上，夹持器安装在相应的运动机构上；数字样机能够实时的反馈在线检测的微器件姿态，并可以360度全景、缩放观察微器件当前的装配状态。本发明专利技术可方便高效的实现人机协同的毫米级微零件在线检测和装配作业，装配零件的尺寸范围可达到10μm-12mm，检测位置精度3-5μm，角度精度0.3～0.5度，具有广泛的应用前景和可观的社会经济效益。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于微装配和微操作
，尤其是一种在三路正交显微视觉的引导下，对两个毫米级微器件进行微米级精度空间对准与装配的装置。
技术介绍
微装配是通过准确地抓取、定位、对准等操作将多个微零件组装成复杂微系统的技术，主要指对几十微米到毫米尺寸的零部件进行的装配作业，是微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS)研究的核心内容和热点课题，具有广泛的应用前景和重要意义。微装配技术可广泛应用于电子、航天、生物、半导体集成电路等领域，受到世界各国的普遍重视。 华中科技大学申请号为01252465. 4的专利所设计的微装配机器人系统，由系统控制主机、微操作机械手、真空微夹、带有摄像头的显微镜构成，可对亚毫米级微粒物体进行自动和半自动操作和装配作业，其定位精度可达到1-5 μ m,三维空间的运动范围可达到50-150mm,具有一定应用前景和社会经济效应。但是，该系统只能对亚毫米的微粒物体进行操作，对于几个微米级尺寸的零件装配无能为力。另外，该系统自由度较少，系统中没有集成数字样机系统和各类光源，因此，其灵活度和通用性受到了限制。大连理工大学搭建的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于显微视觉的微器件装配在线检测装置，其特征在于，该装置包括：控制主机，三路正交显微视觉系统，视觉系统姿态调整机构，微器件夹持装置和微器件姿态调整运动机构，其中：所述三路正交显微视觉系统包括竖直主动变倍显微镜组件(1)，第一水平主动变倍显微镜组件(3)和第二水平主动变倍显微镜组件(5)，所述视觉系统采用千兆以太网与控制主机连接，所述竖直主动变倍显微镜组件(1)、第一水平主动变倍显微镜组件(3)、第二水平主动变倍显微镜组件(5)成正交排列，用于获取三个方位上的微器件图像信号，并将该三个方位上的微器件图像信号发送给控制主机；所述视觉系统姿态调整机构包括竖直显微镜组件调整机构(2)，第一水平显微...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张正涛，张娟，张大朋，徐德，
申请(专利权)人：中国科学院自动化研究所，
类型：发明
国别省市：