有机电致发光显示装置的阵列基板及其制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及有机电致发光显示装置的阵列基板及其制造方法。该阵列基板包括：基板，其包括显示区域和非显示区域；选通线和数据线；薄膜晶体管，其包括多晶硅的半导体层、栅绝缘层、栅极、中间绝缘层、源极、以及漏极；多条辅助线，其由相同的材料形成并在与所述数据线相同的层上；钝化层，其为有机绝缘材料并包括露出漏极的漏接触孔、露出辅助线中的一条辅助线的辅助线接触孔；以及第一电极和线连接图案，其在所述钝化层上，其中所述第一电极接触所述漏极而所述线连接图案连接所述第一辅助图案中的一个。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种有机电致发光显示装置的阵列基板，更具体地说，涉及一种包括以多晶硅作为半导体层的薄膜晶体管的阵列基板及其制造方法。
技术介绍
随着信息技术的快速发展，迅速开发了用于显示大量信息的显示装置。近来，提出并积极开发了具有侧面薄、重量轻和低功耗特点的平板显示装置(FPD)。其中，有机电致发光显示装置最近因其诸多优点而被关注，这些优点有有机电致发光显示装置具有较高的亮度和较低的驱动电压；由于有机电致发光显示装置是自发光的，其具有极好的对比度和极薄的厚度；有机电致发光显示装置具有几毫秒的响应时间，从而在显示运动图像时有优势；有机电致发光显示装置视角宽并在低温下保持稳定；由于有 机电致发光显示装置在低直流电压(DC)5V至15V下被驱动，因而设计和制造驱动电路十分容易；以及由于基本仅需要沉积和封装装置，有机电致发光显示装置的制造过程很简单。在有机电致发光显示装置中，有源矩阵型显示装置被广泛地应用。有机电致发光显示装置包括阵列基板，在其上形成有用于打开/关闭各像素区域的薄膜晶体管。薄膜晶体管可以以多晶硅作为半导体层。通常，制造包括多晶硅薄膜晶体管的有机电致发光显示装置的阵列基板通过本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于有机电致发光显示装置的阵列基板，所述阵列基板包括：基板，所述基板包括显示区域和非显示区域，其中所述显示区域包括像素区域，所述非显示区域包括电源区域；选通线和数据线，所述选通线和数据线之间具有中间绝缘层，并且彼此交叉以限定所述像素区域；薄膜晶体管，所述薄膜晶体管在所述像素区域的驱动区域中并包括多晶硅的半导体层、栅绝缘层、栅极、所述中间绝缘层、源极、以及漏极；多条辅助线，所述多条辅助线在所述电源区域中，由与所述数据线相同的材料形成，并在与所述数据线相同的层上；钝化层，所述钝化层被布置在所述薄膜晶体管上并由有机绝缘材料形成，其中所述钝化层具有露出所述漏极的漏接触孔和露出所述电源区域中的所述多...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：崔熙东，田承峻，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：