蓝宝石衬底制造技术

技术编号:8182477 阅读:127 留言:0更新日期:2013-01-09 00:23
本实用新型专利技术涉及一种蓝宝石衬底,包括衬底本体,所述的衬底本体为两端横截面为矩形的圆片。本实用新型专利技术生长过程中,石墨基座转动带动衬底转动,衬底与石墨基座凹槽边缘无接触,减少衬底边缘对接触部分碳化硅保护层的破坏,从而延长石墨基座的使用寿命。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及LED照明应用领域,尤其是ー种蓝宝石衬底
技术介绍
LED照明产业技术发展的基石是衬底材料,目前能用于生产的衬底有蓝宝石A1203衬底、碳化硅SiC衬底以及Si衬底。随着以蓝宝石为衬底的高亮度LED的应用范围越来越广,白光LED进入家庭将逐步取代传统照明。现有的蓝宝石衬底的几何形状带有主标志面,主标志面和衬底圆弧边缘形成钝角,蓝宝石衬底放在石墨基座的凹槽内。生长过程中,石墨基座转动带动衬底转动,衬底主标志面两侧的钝角会与石墨基座凹槽缺ロ形成点 接触区,反复摩擦、碰撞石墨基座上的碳化硅保护层,使碳化硅保护层破坏。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种可以减少衬底边缘对基座接触部分碳化硅保护层的破坏,从而延长石墨基座的使用寿命的蓝宝石衬底。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是ー种蓝宝石衬底,包括衬底本体,所述的衬底本体为两端横截面为矩形的圆片。本技术所述的衬底本体的厚底为O. 2^0. 5nm。本技术的有益效果是,解决了
技术介绍
中存在的缺陷,生长过程中,石墨基座转动带动衬底转动,衬底与石墨基座凹槽边缘无接触,减少衬底边缘对接触部分碳化硅保护层的破坏,从而延长石墨基座的使用寿命。以下结合附图和实施例对本技术进ー步说明。图I是本技术的优选实施例的结构示意图;图中I、衬底本体;2、矩形截面。具体实施方式现在结合附图和优选实施例对本技术作进ー步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本技术的基本结构,因此其仅显示与本技术有关的构成。如图I所示的ー种蓝宝石衬底,包括衬底本体I,衬底本体I为两端横截面为矩形2的圆片。衬底本体I的厚底为O. 2nm。以上说明书中描述的只是本技术的具体实施方式,各种举例说明不对本技术的实质内容构成限制,所属
的普通技术人员在阅读了说明书后可以对以前所述的具体实施方式做修改或变形,而不背离技术的实质和范围。权利要求1.ー种蓝宝石衬底,包括衬底本体,其特征在于所述的衬底本体为两端横截面为矩形的圆片。2.如权利要求I所述的蓝宝石衬底,其特征在干所述的衬底本体的厚底为O. 2^0. 5nm。专利摘要本技术涉及一种蓝宝石衬底,包括衬底本体,所述的衬底本体为两端横截面为矩形的圆片。本技术生长过程中,石墨基座转动带动衬底转动,衬底与石墨基座凹槽边缘无接触,减少衬底边缘对接触部分碳化硅保护层的破坏,从而延长石墨基座的使用寿命。文档编号H01L33/00GK202651186SQ20122024656公开日2013年1月2日 申请日期2012年5月29日 优先权日2012年5月29日专利技术者石剑舫 申请人:江苏鑫和泰光电科技有限公司本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种蓝宝石衬底,包括衬底本体,其特征在于:所述的衬底本体为两端横截面为矩形的圆片。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:石剑舫
申请(专利权)人:江苏鑫和泰光电科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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