下载蓝宝石衬底的技术资料

文档序号:8182477

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种蓝宝石衬底,包括衬底本体,所述的衬底本体为两端横截面为矩形的圆片。本实用新型生长过程中,石墨基座转动带动衬底转动,衬底与石墨基座凹槽边缘无接触,减少衬底边缘对接触部分碳化硅保护层的破坏,从而延长石墨基座的使用寿命。...
该专利属于江苏鑫和泰光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏鑫和泰光电科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。