蓝宝石衬底退火炉制造技术

本实用新型专利技术涉及一种蓝宝石衬底退火炉，包括炉壳，所述的炉壳内壁除底部设置有加热体，炉壳内腔设置有装载晶片的工装，所述的工装同轴连接旋转装置，所述的旋转装置由炉壳内腔延伸至炉壳外部。本实用新型专利技术在保温阶段旋转晶片，使整个晶片退火均匀，消除退火炉温度场不均的影响。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶体材料的加工
，尤其是一种蓝宝石衬底的退火装置。
技术介绍
蓝宝石晶体(Al2O3)是超高亮度的蓝、白光LED发光材料GaN最常用的衬底材料，而GaN嘉晶的晶体质量与所使用的监宝石衬底(基板)表面加工质量密切相关，尤其是图形化衬底(PSS)与晶片的表面形貌、翘曲程度联系密切，同时，晶片的翘曲程度过大，会在平片做GaN磊晶时，平片与外延薄膜脱落，PSS难以聚焦，影响外延品质。在蓝宝石衬底的切害I]、双面研磨以及单面研磨、抛光过程中，尽管部分的加工应力会在下一道加工工序释放，但是这种应力释放是无序释放，同时未释放的加工应力会在晶片表面集聚，影响蓝宝石晶片的翘曲程度，严重的翘曲会在后道加工过程产生破片，影响整个加工循环的晶片质量。蓝宝石衬底在加工过程中，必须经过退火处理以降低加工应力，目前的退火工艺 采用一步升温至退火温度，未经过过程保温，加工应力释放不均匀，且蓝宝石晶片在退火炉中始终不动，炉子的温度场对加工释放均匀性影响极大，对大尺寸的蓝宝石晶片影响更为明显。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种能够在退火的过程中实现适当旋转蓝宝石晶片的退火炉。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是一种蓝宝石衬底退火炉，包括炉壳，所述的炉壳内壁除底部设置有加热体，炉壳内腔设置有装载晶片的工装，所述的工装同轴连接旋转装置，所述的旋转装置由炉壳内腔延伸至炉壳外部。进一步的说，为了便于人员的操作，本技术所述的旋转装置为旋转手柄。再进一步的说，为了增加退火时温度的均匀性，本技术所述的加热体为加热电阻或加热棒，所述的加热体均匀分布在炉壳内壁上。本技术的有益效果是，解决了
技术介绍
中存在的缺陷，在保温阶段旋转晶片，使整个晶片退火均匀，消除退火炉温度场不均的影响。以下结合附图和实施例对本技术进一步说明。图I是本技术的优选实施例的结构示意图；图中1、加热棒；2、装载晶片的工装；3、旋转手柄；4、监宝石晶片；5、退火炉炉壳。具体实施方式现在结合附图和优选实施例对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。如图I所示的一种蓝宝石衬底退火炉，包括炉壳5，炉壳5内壁除底部均匀设置有加热棒1，炉壳5内腔设置有装载晶片的工装2，工装同轴连接旋转手柄3，旋转手柄3由炉壳5内腔延伸至炉壳外部。工作步骤如下I、将蓝宝石晶片装入退火炉中，快速直接升温至低温度区域150°C 300°C，保温2 4小时,此阶段升温时间为I 2小时；2、在低温区保温过程中，将蓝宝石晶片旋转180度，使整批晶片受热均匀；3、经过低温保温一段时间后，升温至中温区域600°C 800°C，保温5 10小时，此阶段升温时间为4 6小时； 4、在中温区保温过程中，将蓝宝石晶片旋转180度，使整批晶片受热均匀；5、经过中温保温一段时间后，升温至高温区域900°C 1600°C，保温10 20小时，此阶段升温时间为6 20小时。6、在高温区保温过程中，将蓝宝石晶片旋转180度，使整批晶片受热均匀；7、高温保温结束后，以每小时10°C 50°C降温至室温出炉。以上说明书中描述的只是本技术的具体实施方式，各种举例说明不对本技术的实质内容构成限制，所属
的普通技术人员在阅读了说明书后可以对以前所述的具体实施方式做修改或变形，而不背离技术的实质和范围。权利要求1.一种蓝宝石衬底退火炉，包括炉壳，其特征在于所述的炉壳内壁除底部设置有加热体，炉壳内腔设置有装载晶片的工装，所述的工装同轴连接旋转装置，所述的旋转装置由炉壳内腔延伸至炉壳外部。2.如权利要求I所述的蓝宝石衬底退火炉，其特征在于所述的旋转装置为旋转手柄。3.如权利要求I所述的蓝宝石衬底退火炉，其特征在于所述的加热体为加热电阻或加热棒，所述的加热体均匀分布在炉壳内壁上。专利摘要本技术涉及一种蓝宝石衬底退火炉，包括炉壳，所述的炉壳内壁除底部设置有加热体，炉壳内腔设置有装载晶片的工装，所述的工装同轴连接旋转装置，所述的旋转装置由炉壳内腔延伸至炉壳外部。本技术在保温阶段旋转晶片，使整个晶片退火均匀，消除退火炉温度场不均的影响。文档编号C30B33/02GK202595343SQ20122015039公开日2012年12月12日 申请日期2012年4月1日 优先权日2012年4月1日专利技术者储耀卿, 石剑舫, 王善建, 石晓鑫, 朱文超 申请人:江苏鑫和泰光电科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蓝宝石衬底退火炉，包括炉壳，其特征在于：所述的炉壳内壁除底部设置有加热体，炉壳内腔设置有装载晶片的工装，所述的工装同轴连接旋转装置，所述的旋转装置由炉壳内腔延伸至炉壳外部。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：储耀卿，石剑舫，王善建，石晓鑫，朱文超，
申请(专利权)人：江苏鑫和泰光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：