一种单晶炉导流筒制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单晶炉导流筒，包括上下开口的筒体，所述筒体的上端部开口直径小于下端部开口直径。本实用新型专利技术的优点是改进单晶炉导流筒的结构，使得氩气流在导流筒内自上而下流动时气流强度减弱，从而降低了气流产生湍流的几率，减少单晶硅棒晃动以及液面波动等现象，提高单晶硅棒质量，保证生产的稳定进行；硅棒在穿过导流筒时，可以进行一定程度的烘烤，对消除空位、位错等缺陷有促进作用。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及ー种生产单晶硅的设备，特别是ー种单晶炉导流筒。
技术介绍
在CZ法制备单晶硅的生产中，单晶炉的导流筒对晶体生长有很大影响。使用导流筒可以减少炉体上部的氩气流动涡胞，进而減少SiO在单晶炉上部的沉积，从而确保拉制的单晶硅棒具有很高的质量。但是现有的导流筒上下端部的直径不一样，从上端部至下端部递减，这样氩气流在进入单晶炉下端时气流強度会加强，导致单晶硅棒晃动、液面波动，严重时可导致掉棒等生产事故。此外，现有的导流筒进行热辐射时，是将热量向炉壁四周发 散，这样就増加了能耗。
技术实现思路
技术目的针对上述问题，本技术的目的是提供一种单晶炉导流筒，減少氩气流在其中自上而下流动时气流強度加强对拉晶生产的影响。技术方案一种单晶炉导流筒，包括上下开ロ的筒体，所述筒体的上端部开ロ直径小于下端部开ロ直径。有益效果与现有技术相比，本技术的优点是改进单晶炉导流筒的结构，使得氩气流在导流筒内自上而下流动时气流强度减弱，从而降低了气流产生湍流的几率，減少单晶娃棒晃动以及液面波动等现象，提闻单晶娃棒质量，保证生广的稳定进行；娃棒在穿过导流筒时，可以进行一定程度的烘烤，对消除空位、位错等缺陷有促进作用。附图说本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶炉导流筒，包括上下开口的筒体（1），其特征在于：所述筒体（1）的上端部（2）开口直径小于下端部（3）开口直径。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：史爱波，
申请(专利权)人：镇江大成新能源有限公司，
类型：实用新型
国别省市：