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一种单晶炉导流筒制造技术
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下载一种单晶炉导流筒的技术资料
文档序号:8175177
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本实用新型公开了一种单晶炉导流筒,包括上下开口的筒体,所述筒体的上端部开口直径小于下端部开口直径。本实用新型的优点是改进单晶炉导流筒的结构,使得氩气流在导流筒内自上而下流动时气流强度减弱,从而降低了气流产生湍流的几率,减少单晶硅棒晃动以及液...
该专利属于镇江大成新能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过镇江大成新能源有限公司授权不得商用。
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