【技术实现步骤摘要】
本技术单晶炉水冷套结构属于冶炼系统单晶炉冶炼装置，特别涉及单晶炉冶炼水冷套结构。
技术介绍
冶金行业单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料，单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料；在硅单晶拉制过程中，使用水冷套，可以加速晶棒的冷却，提高晶棒的成长时间，提高拉晶效率，目前使用的水冷套一般采用焊接固定在炉盖上，结构不灵活，冷却效果差，晶棒不容易被冷却。
技术实现思路
有鉴于此，有必要提供一种冷却效果好、成棒效率高的新结构单晶炉水冷套结构。本技术单晶炉水冷套结构，含有籽晶绳、炉盖、晶棒、硅液、石英坩埚和石墨热场，其特征在于水冷套由法兰、接管、外筒和内筒组成；水冷套由法兰、接管和外筒组焊制成，法兰制成中空腔体法兰，下平面焊接接管，接管为通管，上端连接法兰腔体，下端连接由外筒和内筒同轴心组焊成的空腔，安装在炉盖上端中心部位；籽晶绳上端安装在提拉装置内，下端连接晶棒顶端，晶棒在水冷套内降温，炉盖为水冷焊接件；晶...
【技术保护点】
单晶炉水冷套结构,含有籽晶绳（1）、炉盖（3）、晶棒（4）、硅液（5）、石英坩埚（6）和石墨热场（10），其特征在于：水冷套由法兰（2）、接管（7）、外筒（8）和内筒（9）组成；水冷套由法兰（2）、接管（7）、外筒（8）和内筒（9）组焊制成，法兰（2）制成中空腔体法兰，下平面焊接接管（7），接管（7）为通管，上端连接法兰（2）腔体，下端连接由外筒（8）和内筒（9）同轴心组焊成的空腔，安装在炉盖（3）上端中心部位；籽晶绳（1）上端安装在提拉装置内，下端连接晶棒（4）顶端，晶棒(4)在水冷套内降温，炉盖（3）为水冷焊接件；晶棒（4）为拉制过程中产生；硅液（5）为高温硅熔体，盛在...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴学军，周凯平，
申请(专利权)人：宁夏日晶新能源装备股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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