【技术实现步骤摘要】
本技术涉及ー种生产单晶硅的设备,特别是ー种可多次加料的单晶炉。
技术介绍
目前生产单晶硅棒时,对单晶炉按最大固化硅料投料量投料,硅料在石英埚里完全融化后,也只是占了石英埚容积的大约三分之ニ,受单晶炉结构和生产エ艺程序限制,生产过程中无法再次加料,因而生产装置系统利用率不高,这也影响了单晶硅棒的拉制长度。
技术实现思路
技术目的针对上述问题,本技术的目的是提供一种可多次加料的单晶 炉,提高生产系统的利用率,满足单晶硅棒拉制长度的需要。技术方案一种可多次加料的单晶炉,包括炉体、所述炉体内部的石英埚,还包括加料装置,向所述石英埚内投料。所述加料装置包括供料漏斗、供料盘、加料管、振动器,所述加料装置位于所述炉体外部,所述加料管穿过所述炉体伸向所述石英埚,所述供料漏斗内的物料在所述振动器的作用下落入所述供料盘,再通过所述加料管送入所述石英埚。有益效果与现有技术相比,本技术的优点是在单晶炉的生产过程中,根据石英埚内物料塌料情况或单晶硅棒的拉制长度需求,通过加料装置对石英埚内多次加料,增大投料量,提高石英埚的容积利用率,尽量达到生产最大化。附图说明附图图I为本技术结构示意图。具体实施方式以下结合附图图I和具体实施例,进ー步阐明本技术,应理解这些实施例仅用于说明本技术而不用于限制本技术的范围,在阅读了本技术之后,本领域技术人员对本技术的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。如附图图I所示,一种可多次加料的单晶炉,包括炉体I、炉体I内部的石英埚2、加料装置,加料装置包括供料漏斗3、供料盘4、加料管6、振动器5,加料装置位于炉体I外部,加料管6穿过炉体I伸向石英埚 ...
【技术保护点】
一种可多次加料的单晶炉,包括炉体(1)、所述炉体(1)内部的石英埚(2),其特征在于:还包括加料装置,向所述石英埚(2)内投料。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张燕青,
申请(专利权)人:镇江大成新能源有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。