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一种可多次加料的单晶炉制造技术
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下载一种可多次加料的单晶炉的技术资料
文档序号:8175178
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本实用新型公开了一种可多次加料的单晶炉,包括炉体、所述炉体内部的石英埚,还包括加料装置,向所述石英埚内投料。本实用新型的优点是在单晶炉的生产过程中,根据石英埚内物料塌料情况或单晶硅棒的拉制长度需求,通过加料装置对石英埚内多次加料,增大投料量...
该专利属于镇江大成新能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过镇江大成新能源有限公司授权不得商用。
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