【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基板清洗制作工艺，其步骤包括：将一基板放置于一旋转台上；使该旋转台以第一转速旋转该基板；在该第一转速下，朝该基板的表面喷洒一清洗液；以及提高该旋转台的转速至第二转速，使该基板上的残留清洗液受离心力而脱离该基板表面。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：柯正良，赵启仲，何孝恒，
申请(专利权)人：隆达电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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