一种用于搬运大面积基板的搬运机械手及搬运装置，所述搬运机械手包括：承载臂和位于所述承载臂表面的防热外壳，且所述防热外壳的厚度范围为：0.001mm～0.3mm。优选地，所述承载臂的表面上或者所述防热外壳与所述承载臂接触的表面上设置有1个或多个突出部。本发明专利技术还提供了一种包括上述搬运机械手的搬运装置。本发明专利技术采用了防热外壳，使得搬运机械手能在高温环境下仍然准确工作，且即使长时间位于高温环境中，也不会使搬运机械手变形；此外，采用厚度为0.001mm～0.3mm的防热外壳，还可以进一步降低搬运机械手的重量，减小搬运机械手的体积，且降低搬运的成本。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种机械搬运装置，特别涉及一种用于搬运大面积基板的搬运机械手及搬运装置。
技术介绍
在薄膜太阳能电池的制备领域中，基板需要用搬运机械手进行传输，且基板的面积多在0.7平方米以上，基板的材质多为玻璃。图1示出了现有的一种薄膜太阳能电池的制造设备。如图1所示，所述薄膜太阳能电池的制造设备，包括基板装载台1、基板卸载台 2、处理腔室3、真空传输腔室4和搬运装置，其中搬运装置设置在所述真空传输腔室4内， 用于将基板从基板装载台1搬运到处理腔室3，再将处理后的基板从处理腔室3搬运到基板卸载台2。所述搬运装置包括转台5、滑轨6和搬运机械手7，其中所述滑轨6位于所述转台5上，所述搬运机械手7位于所述滑轨6上，所述搬运机械手7沿滑轨6进行滑动以执行所述搬运动作，所述转台5用于旋转所述搬运机械手7以配合所述搬运动作。众所周知，经过处理腔室进行处理后的基板温度较高，若搬运这样较高温度的基板，则将导致搬运机械手被加热。当搬运机械手的温度长时间处于高温时，便会发生形变。 如果搬运机械手发生较大形变，显然会影响到传输的精确性，尤其是在薄膜太阳能电池的制备领域中，一个搬运机械手包含若干机械臂以分别向各个处理腔同时传输待处理的或者处理完的基板，传输位置稍有误差，就有可能导致基板的碰撞破损等，从而搬运机械手无法完成搬运基板的任务。为了保证搬运机械手在高温环境中正常工作，现有技术给出了设置热反射板的解决方案，如在专利号为6^8684的美国专利申请中，提出在搬运装置的搬运臂的外围设置有不锈钢板，以保证传输臂在高温的环境中能正常工作；而在专利号为M89192的美国专利申请中，提出在传输臂面向发热源的一侧设置热反射板，以防止热传输臂异常升温。但是上述解决方案主要是用于解决半导体制造领域中面积和重量都比较小且对传输的精度要求也不是很高的晶片传输，若适用于薄膜太阳能电池制备领域中大面积基板的传输时，则存在以下问题热反射板采用的材质多是不锈钢，因此防热效果不是很理想； 热反射板的厚度比较厚，使得搬运机械手的重量大、体积大，搬运成本也明显提高。
技术实现思路
本专利技术解决的问题是提供一种能有效防止其自身因受热变形的搬运机械手及搬运装置，同时减小搬运机械手的重量和体积，降低搬运的成本。为解决上述问题，本专利技术提供了一种搬运机械手，用于搬运大面积基板，包括 承载臂和位于所述承载臂表面的防热外壳，且所述防热外壳的厚度范围为0. OOlmm 0. 3mmο可选地，所述大面积基板是指面积为0. 7平方米以上的基板。可选地，所述防热外壳的厚度范围为0. 007mm 0. 1mm。可选地，所述防热外壳为铝箔。可选地，所述防热外壳通过耐高温胶粘贴在所述承载臂的表面。可选地，所述耐高温胶包括有机硅类胶、酚醛树脂胶、脲醛树脂胶、耐温环氧胶或聚酰亚胺胶中的一种或几种的组合。可选地，所述防热外壳通过耐高温丝绑缚在所述承载臂的表面。可选地，所述耐高温丝包括铝丝、不锈钢丝或炉丝。可选地，所述防热外壳与所述承载臂通过螺钉进行固定。可选地，所述防热外壳包覆所述承载臂的各个表面。可选地，所述承载臂的表面上或者所述防热外壳与所述承载臂接触的表面上设置有1个或多个突出部。可选地，所述突出部均勻分布在所述承载臂的表面上或者所述防热外壳与所述承载臂接触的表面上。可选地，所述突出部与所述防热外壳或者与所述承载臂点接触。可选地，所述突出部的材质与所述承载臂的材质或者与所述防热外壳的材质相同。 可选地，所述突出部的材质为绝热材料。可选地，所述突出部的材质为耐高温陶瓷。可选地，所述搬运机械手能够从处理室中搬运基板，每个所述处理腔室具有至少两个子处理室，所述承载臂具有至少两层，所述承载臂的层数与所述子处理室的个数相等。为解决上述问题，本专利技术还提供了一种包括上述搬运机械手的搬运装置。与现有技术相比，本专利技术具有以下优点1)所述防热外壳的设置，使得搬运机械手能在高温环境下仍然准确工作，且即使长时间位于高温环境中，也不会使搬运机械手变形。2)与现有技术相比，采用厚度范围为0.001mm 0.3mm的防热外壳，可以进一步降低搬运机械手的重量，减小搬运机械手的体积，且降低了搬运的成本。3)所述防热外壳的材质为铝箔，与不锈钢相比，铝箔的密度和比热更小，从而质量更轻、防热效果更好。4)所述防热外壳既可以通过耐高温胶粘贴在所述承载臂的表面，也可以通过螺钉固定在所述承载臂的表面，还可以通过耐高温丝绑缚在所述承载臂的表面，使所述防热外壳更加牢固地设置在各个承载臂的表面上。5)所述防热外壳包覆所述承载臂的各个表面，以增强防热效果。6)所述搬运机械手能够从处理室中搬运基板，每个所述处理腔室具有至少两个子处理室，所述承载臂具有至少两层，所述承载臂的层数与所述子处理室的个数相等，从而提高了搬运机械手的批量处理能力，提高搬运效率。7)在所述承载臂的表面上或者在所述防热外壳与承载臂接触的表面上设置1个或多个突出部，从而使得承载臂的受热影响更小。8)所述突出部与所述防热外壳或者所述承载臂点接触，以使得从防热外壳传到承载臂上的热更少。9)所述突出部均勻分布在所述承载臂的表面上或者所述防热外壳与承载臂接触的表面上，以使得搬运机械手的防热效果均勻。10)所述突出部的材质可以与所述承载臂的材质或者与所述防热外壳的材质相同，也可以与所述承载臂的材质或者与所述防热外壳的材质不同。优选地，所述突出部的材质为耐高温陶瓷等绝热材料，以使得从防热外壳传到承载臂上的热更少。附图说明图1是现有技术中薄膜太阳能电池的制造设备的结构示意图；图2是本专利技术实施例1中薄膜太阳能电池的制备设备的结构示意图；图3是沿图2中A-A方向的截面示意图；图4是图2中搬运装置的右视图；图5是本专利技术实施例2中一种搬运机械手的结构示意图；图6是图5中承载臂的俯视图；图7是本专利技术实施例2中另一种搬运机械手的结构示意图。 具体实施例方式为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术，但是本专利技术还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，因此本专利技术不受下面公开的具体实施例的限制。正如
技术介绍
部分所述，现有技术中搬运机械手的温度长时间处于高温时，便会发生形变。如果搬运机械手发生较大形变，显然会影响到传输的精确性，且可能导致基板的碰撞破损等，从而搬运机械手无法完成搬运基板的任务。因此，在薄膜太阳能电池的制备中，为防止上述缺陷的产生，本专利技术提供了一种用于搬运大面积基板的搬运机械手，包括承载臂和位于所述承载臂表面的防热外壳，且所述防热外壳的厚度范围为0. OOlmm 0. 3mm。本专利技术中所述大面积基板是指面积为0. 7平方米以上的基板。为防止上述缺陷的产生，本专利技术还提供了一种包括上述搬运机械手的搬运装置。本专利技术中所述防热外壳的设置，使得搬运机械手能在高温环境下仍然准确工作， 且即使长时间位于高温环境中，也不会使搬运机械手变形；此外，所述防热外壳的厚度范围为0. OOlmm 0. 3mm，还可以进一步降低搬运机械手的重量，减小搬运机械手的体积，且降低了搬运的成本。下面结合附图分别进行详细说明。实施例1本实施例提供了一种搬运装置，如图2所示，所述薄膜太阳能电池的制造设备，包括基本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：胡兵，吴红星，
申请(专利权)人：理想能源设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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