一种用于搬运大面积基板的基板传输装置、基板传输方法及基板传输系统，所述基板传输装置设置于真空传输腔室内，包括：转台，设置于滑轨的下方，用于旋转所述滑轨；滑轨；搬运机械手，位于所述滑轨上；位于所述滑轨和所述真空传输腔室底面之间的支撑结构，用于防止所述滑轨受重变形。本发明专利技术增加了支撑结构，当基板传输装置中的搬运机械手转动到滑轨一端时，所述支撑结构起支撑作用，可以防止所述搬运机械手滑行到滑轨一端时，滑轨因受重而变形，从而增大了基板传输过程中的安全性；支撑结构并不是始终起支撑作用，从而减小了基板传输装置的转动阻力。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种机械搬运装置，尤其涉及的是一种基板传输装置、基板传输方法及基板传输系统。
技术介绍
在半导体制造过程中，需要在真空环境中实现晶片传输，比如专利公开号为 2912932的中国专利提出了一种基片传输机械手装置，具体参见图1所示，包括机械手臂 5、直线导轨6、驱动盘7、机械手支架8、回转盘9、张紧轮10和钢带(图1中未示出)，其中 机械手臂5安装在回转盘9上，回转盘9位于机械手支架8上，机械手支架8下安装直线导轨6 ；钢带绕制在回转盘9、张紧轮10、驱动盘7上，该装置从晶片盒2中取片经过真空锁3 送到定向台4，定向台4完成晶片定向，再将晶片送到晶片台1。当对晶片的处理完成后，再由该装置将晶片送到晶片盒2。但是图1所示的装置不但结构复杂，所传输的基片面积比较小，而且当机械手臂5从直线导轨6的一端滑至另一端时，直线导轨6容易因受重不均衡而变形，增加了基板传输过程中的不安全性。在薄膜太阳能电池的制备领域中，基板也需要用搬运装置从基板装载台搬运到处理腔室，当处理腔室完成基板的处理后，还需要将基板从处理腔室搬运到基板卸载台。图 2示出了现有的一种薄膜太阳能电池制造的基板传输系统，包括基板装载台11、基板卸载台12、处理腔室13、真空传输腔室14和基板传输装置，其中基板传输装置设置在所述真空传输腔室14内，用于将基板从基板装载台11搬运到处理腔室13，再将处理后的基板从处理腔室13搬运到基板卸载台12。所述基板传输装置至少包括转台15、滑轨16和搬运机械手17，其中所述滑轨16位于所述转台15上，所述搬运机械手17位于所述滑轨16上，所述搬运机械手17沿滑轨16进行滑动以执行所述搬运动作，所述转台15用于旋转所述搬运机械手17以配合所述搬运动作。随着技术的发展，制备薄膜太阳能电池中的基板面积变得越来越大，至少在1平方米以上，因此导致滑轨16的受重大大增加。此时当搬运机械手17滑行至滑轨16的一端时，滑轨16容易因受重不均衡而变形，导致基板的传输位置产生误差，又由于基板多为玻璃基板，传输位置稍有误差，就有可能导致基板的碰撞破损等，因此增加了基板传输过程中的不安全性。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种基板传输装置、基板传输方法及基板传输系统，解决现有技术中滑轨因受重变形，从而导致基板传输不安全的问题。为解决上述问题，本专利技术提供了一种基板传输装置，所述基板传输装置设置于真空传输腔室内，包括转台，设置于所述真空传输腔室的底面上；滑轨；搬运机械手，位于所述滑轨上，其特征在于，还包括位于所述滑轨和所述真空传输腔室的底面之间的支撑结构，用于防止所述滑轨受重变形。可选地，所述支撑结构位于所述滑轨的下表面上。可选地，所述支撑结构位于所述真空传输腔室底面上。可选地，所述真空传输腔室连接有处理室，每个所述处理室具有至少两个子处理室，所述搬运机械手包括至少两层承载臂，所述搬运机械手用于同时从所述处理腔室搬运至少两片基板。可选地，所述搬运机械手的表面包覆一层防热外壳。可选地，所述支撑结构为螺钉、滚轮或辊子。可选地，所述支撑结构的数量为偶数。可选地，所述支撑结构以转台为中心对称分布。可选地，所述支撑结构间的间距不相等。可选地，所述支撑结构间的间距随着与转台距离的增加而减小。可选地，所述转台的直径小于或者等于所述滑轨的宽度。可选地，所述支撑结构的形状为半圆体或锥体。可选地，所述支撑结构的数量为2个，且分别位于所述滑轨的两端。可选地，所述支撑结构通过机械方式固定在所述滑轨的下表面或者所述真空腔室底面上。可选地，所述支撑结构与所述滑轨或者所述真空腔室底部为一体。可选地，位于转台同一侧的所述支撑结构沿滑轨长度方向的垂直截面为楔形。为解决上述问题，本专利技术还提供了一种包括上述基板传输装置的基板传输系统。为解决上述问题，本专利技术还提供了一种上述基板传输装置的基板传输方法，包括装载或卸载基板；所述搬运机械手沿所述滑轨滑动，当所述搬运机械手滑行至所述滑轨的一端时， 所述滑轨通过所述支撑结构与所述真空传输腔室底面接触。可选地，所述基板传输方法还包括当所述搬运机械手的重心与所述转台的中心重合时，所述搬运机械手停止沿所述滑轨滑动；旋转所述转台，使所述滑轨指向预定方向。与现有技术相比，本专利技术具有以下优点1)所述支撑结构的设置，可以防止所述滑轨受重变形，增大了基板搬运过程中的安全性。2)所述支撑结构并没有始终起支撑作用，从而减小了滑轨的转动阻力。3)所述支撑结构既可以位于滑轨的下表面，也可以位于真空传输腔室底面，位置比较灵活，可根据具体情况进行选择。4)所述支撑结构为半圆体或锥体时，其与所述真空传输腔室底面或者滑轨下表面点接触，以减少所述搬运机械手旋转过程中的阻力。5)所述搬运机械手呈叉状排，具有多个水平延伸的搬运机械臂，相应的处理腔室呈堆叠状；因此，可以同时搬运和处理多片基板，增加了基板传输和处理的效率。6)所述搬运机械手的表面可以包覆一层防热外壳，以保证搬运机械手可以长时间工作在高温环境中。7)所述支撑结构的形状和数量都没有限制，进而可选用螺钉、滚轮或辊子等作为支撑结构，使得所述支撑结构的装配更加容易。8)所述支撑结构的数量为偶数，且支撑结构以转台为中心对称分布时，可在搬运基板的过程中，滑轨两端受到的支撑相同。9)所述支撑结构间的间距可以相等，也可以不相等，位置设置灵活；优选地，所述支撑结构间的间距随着与转台距离的增加而减小，以增强其在滑轨两端的支撑能力。10)所述转台的直径可以小于或者等于所述滑轨的宽度，现有技术中由于没有支撑结构，因此转台的直径多大于滑轨的宽度，从而本专利技术降低了转台的尺寸和成本。11)所述支撑结构为2个，且分别位于所述滑轨的两端，可简单有效的防止滑轨受重变形，保证基板传输的安全性。12)所述支撑结构既可以通过机械方式固定在所述滑轨的下方或者所述真空腔室底面上，也可以与所述滑轨或者所述真空腔室底部为一体，实现方式多样。13)位于转台同侧的所述支撑结构分别构成一个截面为楔形，以最大限度的对所述滑轨进行支撑，增强支撑结构的辅助支撑能力。14)所述搬运机械手的重心与所述转台的中心重合时，才旋转所述转台使所述滑轨指向预定方向，以使得所述支撑结构可以不与所述滑轨或者所述真空传输室底面进行接触，进一步地避免了支撑结构给滑轨转动带来阻力。附图说明图1是现有技术中基片传输机械手装置的结构示意图；图2是现有技术中薄膜太阳能电池制造中的基板传输系统结构示意图；图3是本专利技术实施例1中基板传输装置的俯视图；图4是沿图3中A-A方向的截面图；图5是本专利技术实施例2中基板传输系统的俯视图；图6是本专利技术实施例3中基板传输装置的俯视图；图7是沿图6中B-B方向的截面图。具体实施例方式为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术，但是本专利技术还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，因此本专利技术不受下面公开的具体实施例的限制。正如
技术介绍
部分所述，现有技术中随着基板的面积变得越来越大，从而滑轨的负重大大增加，此时当搬运机械手滑行至滑轨的一端时，滑轨容易因受重不均衡而变形，增加了基板传输过程中的不安全性。因此，在薄膜太阳能电池的制备过程中，为防止上述缺陷的产本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：胡兵，吴红星，
申请(专利权)人：理想能源设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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