一种掩模板表面微尘去除的方法技术

本发明专利技术涉及一种去除微尘的方法，尤其涉及一种掩模板表面微尘去除的方法。本发明专利技术一种掩模板表面微尘去除的方法，在不提高吹气压力的前提下，通过吹送离子风以中和带电微尘的电性，从而消除其吸附力，不仅能提高除尘效率，去除带电微尘，又能降低破坏掩模板的风险，且工艺简单，易于实现操作。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：戴韫青，王剑，毛智彪，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：