【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造，尤其涉及一种部件剩余使用寿命预测方法、系统及可读存储介质。
技术介绍
1、半导体制造过程中，机器各部件状态直接影响晶圆(wafer)的生产过程，如果在机器发生故障后才进行维修，不仅会大大降低生产的效率，还可能导致晶圆产量的大幅降低。因此，开发一个可以基于现有数据进行部件剩余使用寿命(remaining useful lifetime，rul)预测的系统非常重要。
2、目前大部分rul预测基于已知的材料知识，这种估计方法适用面窄，且需要大量对特定部件的先验知识，无法最大程度提高生产效率。随着机器、部件的更新及复杂化，人工越来越难为每个部件定义精细化的模型。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种部件剩余使用寿命预测方法、系统及可读存储介质，能够在各个时间点及时预测部件剩余使用寿命，减少非计划性宕机对产线的影响，延长机器的使用时间。
2、为达到上述目的，本专利技术提供一种部件剩余使用寿命预测方法，包括以下步骤：
3、计算每个...
【技术保护点】
1.一种部件剩余使用寿命预测方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的部件剩余使用寿命预测方法，其特征在于，通过随机森林计算每个传感器数据对部件剩余使用寿命的重要性。
3.根据权利要求1所述的部件剩余使用寿命预测方法，其特征在于，利用平均不纯度减少的方法过滤掉对所述部件剩余使用寿命影响较小的传感器数据。
4.根据权利要求1所述的部件剩余使用寿命预测方法，其特征在于，计算每个传感器数据在固定时间段内的原始特征值时，使所有的传感器数据具有相同的时间步。
5.根据权利要求1所述的部件剩余使用寿命预测方法，其特征...
【技术特征摘要】
1.一种部件剩余使用寿命预测方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的部件剩余使用寿命预测方法，其特征在于，通过随机森林计算每个传感器数据对部件剩余使用寿命的重要性。
3.根据权利要求1所述的部件剩余使用寿命预测方法，其特征在于，利用平均不纯度减少的方法过滤掉对所述部件剩余使用寿命影响较小的传感器数据。
4.根据权利要求1所述的部件剩余使用寿命预测方法，其特征在于，计算每个传感器数据在固定时间段内的原始特征值时，使所有的传感器数据具有相同的时间步。
5.根据权利要求1所述的部件剩余使用寿命预测方法，其特征在于，利用训练好的预测模型对待预测的部件剩余使用寿命进行预测时，将所述部件剩余使用寿命的最大值设定为不大于部件最大使用寿命的三分之一。
6.一种部件剩余使用寿命预测系统，其特征在于，包括：...
【专利技术属性】
技术研发人员：俞微，陈旭，魏峥颖，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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