探针卡及其制作方法技术

本发明专利技术提供了一种探针卡及其制作方法，所述探针卡包括与测试设备电连接的基板、与所述基板固定连接的中间件以及与所述中间件插接的针座，所述针座上远离所述中间件的一端被配置为与待测晶圆连接；所述中间件通过连接组件与所述基板上的所有探卡通道电连接，所述针座通过所述中间件与所述基板电连接。本发明专利技术提供的探针卡及其制作方法，通过在基板上设置中间件，为针座与基板之间的可拆卸连接奠定了基础；通过将中间件经连接组件与基板上的所有探卡通道电连接，为能够对不同产品进行晶圆测试奠定了基础；通过在中间件上插接针座，使得针座与基板之间能够形成可拆卸连接，只需插接不同的针座，即可实现不同产品的晶圆测试，从而能够快速实现多种产品的测试需求，进而能够提高晶圆测试效率和提高探针卡的利用率，并能够极大地降低测试成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及集成电路测试，特别涉及一种探针卡及其制作方法。

技术介绍

1、集成电路生产过程中，晶圆测试是获取产品良率的重要手段。在产品研发阶段，通常设计各种不同的测试方法，模拟集成电路中真实的使用环境，发现设计或生产工艺缺陷。晶圆测试方法主要包括：通过在特定测试机台的平台上根据产品设计定做探针卡，编写测试程序，最后获得产品良率。

2、请参见图1和图2，图1为现有技术中的探针卡的示例图；图2为现有技术中的探针卡的俯视图。如图1和图2所示，现有技术中的所述探针卡包括印刷电路板10、焊接在所述印刷电路板10上的探针座11以及焊接在所述探针座11上的探针111，所述探针111通过铜线12与所述印刷电路板10上的通道连接。然而，当测试的产品设计相似但针脚的数量或位置变动时，便需要重新设计并花费较长时间定做探针卡。而且需要花费大量的人力和物力对探针卡进行验证，如果中间任何一个环节出现问题，便需要探针卡制作商不断保养来进行探针卡矫正，测试验证周期无法估量。

3、为了尽可能确保研发进度，需要找到可靠的探针卡制作商并对产品进行定位设计。通常有以下两本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种探针卡，其特征在于，所述探针卡包括与测试设备电连接的基板、与所述基板固定连接的中间件以及与所述中间件插接的针座，所述针座上远离所述中间件的一端被配置为与待测晶圆连接；

2.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述中间件上设置有若干个通道孔，所述通道孔的数量、所述基板上的探卡通道的数量以及所述测试设备上的资源通道的数量均相同。

3.如权利要求2所述的探针卡，其特征在于，所述连接组件包括连接器和连接线；每个所述通道孔内均设置有所述连接器，所有所述连接器的底部均通过所述连接线与所述基板上的通道对应连接，所述连接器的顶部与所述针座连接。>

4.如权利要...

【技术特征摘要】

1.一种探针卡，其特征在于，所述探针卡包括与测试设备电连接的基板、与所述基板固定连接的中间件以及与所述中间件插接的针座，所述针座上远离所述中间件的一端被配置为与待测晶圆连接；

2.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述中间件上设置有若干个通道孔，所述通道孔的数量、所述基板上的探卡通道的数量以及所述测试设备上的资源通道的数量均相同。

3.如权利要求2所述的探针卡，其特征在于，所述连接组件包括连接器和连接线；每个所述通道孔内均设置有所述连接器，所有所述连接器的底部均通过所述连接线与所述基板上的通道对应连接，所述连接器的顶部与所述针座连接。

4.如权利要求3所述的探针卡，其特征在于，所述连接器包括插拔式连接器。

5.如权利要求2所述的探针卡，其特征在于，所述针座包括探针基座和固定设...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鑫，席与凌，李强，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：