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本发明提供了一种探针卡及其制作方法，所述探针卡包括与测试设备电连接的基板、与所述基板固定连接的中间件以及与所述中间件插接的针座，所述针座上远离所述中间件的一端被配置为与待测晶圆连接；所述中间件通过连接组件与所述基板上的所有探卡通道电连接，所...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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