本实用新型专利技术提供一种掩模板。该掩模板包括第一膜层和第二膜层，第二膜层覆叠在第一膜层上，第一膜层采用无纺布或陶瓷板，第二膜层采用UV固化胶或热固化胶。该掩模板通过使掩模板的第一膜层采用无纺布或陶瓷板，第二膜层采用UV固化胶或热固化胶，使掩模板的重量小于采用因瓦合金材质的掩模板的重量，从而使掩模板传送和使用起来更加方便；针对尺寸较大的掩模板，重量的减轻还能进一步确保掩模板的平坦度，进而进一步确保掩模板的精密度；同时，上述膜层材质的掩模板能使其不容易发生受热形变，从而保证了掩模板成膜的精密度。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提供一种掩模板。该掩模板包括第一膜层和第二膜层，第二膜层覆叠在第一膜层上，第一膜层采用无纺布或陶瓷板，第二膜层采用UV固化胶或热固化胶。该掩模板通过使掩模板的第一膜层采用无纺布或陶瓷板，第二膜层采用UV固化胶或热固化胶，使掩模板的重量小于采用因瓦合金材质的掩模板的重量，从而使掩模板传送和使用起来更加方便；针对尺寸较大的掩模板，重量的减轻还能进一步确保掩模板的平坦度，进而进一步确保掩模板的精密度；同时，上述膜层材质的掩模板能使其不容易发生受热形变，从而保证了掩模板成膜的精密度。【专利说明】一种掩模板
本技术涉及显示产品的成膜
，具体地，涉及一种掩模板。
技术介绍
应用有机电致发光二极管(OLED,Organic Light-Emitting D1de)的显示器也被称为OLED显示器或者是有机电致发光显示器，它是一种新型的平板显示器，因其具有主动发光、对比度高以及响应速度快等优点，而得到广泛应用。 在制作OLED显示器的过程中需要将有机材料蒸镀到玻璃基板表面，而蒸镀有机材料的过程中需要采用掩模板，以便在玻璃基板上得到所需的图案。 目前，掩模板一般采用金属掩模板，金属掩模板通常包括框架以及通过该框架支撑的设置有成膜图案的掩模。框架和掩模的材质一般为Invar (因瓦合金，即含有35.4%镍的铁合金)，Invar的膨胀系数为1.2 X 10_6°C，密度为8.1g/cm3，热传导系数为10W/m.k，t匕热为515J/kg，抗拉伸强度为590Mpa，Invar的上述物理特性使其很适合用作掩模板。 为了使设置有成膜图案的掩模具有较高的平坦度，需要将掩模拉伸后固定在框架上，并通过框架张紧，所以框架需要有能满足掩模张紧的强度，为此框架通常需要具备一定的厚度和重量。框架的材质一般为Invar或SUS材料，这些材料的密度相对较大。当框架需要对面积较大的掩模进行张紧时，框架本身的重量通常也会比较大，此时，很容易导致机械手在传送框架时受到限制。 另外，采用Invar的框架对掩模进行张紧支撑形成的掩模板平坦度不高，如掩模表面不同位置的高度差会达到10um?150um。当掩模板尺寸较大时，其平坦度会进一步下降，对成膜工艺产生比较严重的阴影影响，从而影响OLED的性能。 同时，掩模板属于消耗品，当使用一定次数精度下降时，就需要废弃处理，而Invar材料及加工的价格非常高昂，导致在大规模生产中掩模板的成本在产品成本中占有非常大的比重。
技术实现思路
本技术针对现有技术中存在的上述技术问题，提供一种掩模板。该掩模板的重量小于采用因瓦合金材质的掩模板的重量，从而使掩模板传送和使用起来更加方便；针对尺寸较大的掩模板，重量的减轻还能进一步确保掩模板的平坦度，进而进一步确保掩模板的精密度。 本技术提供一种用于成膜的掩模板，包括第一膜层和第二膜层，所述第二膜层覆叠在所述第一膜层上，所述第一膜层采用无纺布或陶瓷板，所述第二膜层采用UV固化胶或热固化胶。 优选地，所述第一膜层和所述第二膜层的材质密度均小于8.lg/cm3，膨胀系数均小于1.2X10_6/°C，热传导系数均小于10ff/m.k。 优选地，所述无纺布的耐受温度范围为400°C以内，所述陶瓷板的耐受温度范围为1400°C 以内。 优选地，所述无纺布采用聚酰亚胺纤维、聚苯硫醚纤维、热塑性弹性体纤维、热塑性聚烯烃纤维、热熔接性复合纤维、麻纤维、粘结纤维、银纤维、环氧类化合物的聚乳酸纤维、碳纤维、烯烃系聚合物、涤纶化纤、锦纶化纤、粘胶化纤、聚丙烯、聚丙烯腈、聚酰胺、聚酯纤维、芳香族聚酯、棉纤维和丝纤维中的任意一种材料。 优选地，所述第二膜层的厚度范围为1-1000 μ m。 优选地，还包括覆叠在所述第二膜层上的第三膜层，所述第三膜层采用UV固化胶或热固化胶。 优选地，所述掩模板上设置有镂空的成膜图案，对应在所述成膜图案的边缘，所述第三膜层完全包覆所述第一膜层和所述第二膜层。 优选地，所述第三膜层的厚度范围为50-3000 μ m。 优选地，其特征在于，所述热固化胶的固化温度范围为10°C -200°C。 优选地，还包括粘贴层，所述粘贴层设置在所述第一膜层的背对所述第二膜层的一侧，且位于所述第一膜层的边缘。 本技术的有益效果:本技术所提供的掩模板，通过使掩模板的第一膜层采用无纺布或陶瓷板，第二膜层采用UV固化胶或热固化胶，使掩模板的重量小于采用因瓦合金材质的掩模板的重量，从而使掩模板传送和使用起来更加方便；针对尺寸较大的掩模板，重量的减轻还能进一步确保掩模板的平坦度，进而进一步确保掩模板的精密度；同时，上述膜层材质的掩模板能使其不容易发生受热形变，从而保证了掩模板成膜的精密度。 【专利附图】【附图说明】 图1为本技术实施例1中掩模板的结构俯视图； 图2为图1中掩模板沿A1A2剖切线进行剖切的剖视图。 其中的附图标记说明: 1.第一膜层；2.第二膜层；3.第三膜层；4.成膜图案；41.一次切割后的成膜图案边缘；42.二次切割后的成膜图案边缘；5.粘贴层。 【具体实施方式】 为使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图和【具体实施方式】对本技术所提供的一种掩模板作进一步详细描述。 实施例1: 本实施例提供一种用于成膜的掩模板，如图1和图2所示，包括第一膜层I和第二膜层2，第二膜层2覆叠在第一膜层I上，第一膜层I采用无纺布，第二膜层2采用UV固化胶或热固化胶。 其中，第一膜层I和第二膜层2的材质密度均小于8.lg/cm3，膨胀系数均小于1.2X10_6/°C，热传导系数均小于10ff/m.k。 由于第一膜层I和第二膜层2的材质密度均小于8.lg/cm3，该密度为目前掩模板通常采用的材质:因瓦合金的密度，所以在体积相同的情况下，本实施例中掩模板的重量小于采用因瓦合金材质的掩模板的重量，从而使掩模板传送和使用起来更加方便；针对尺寸较大的掩模板，重量的减轻还能进一步确保掩模板的平坦度；第一膜层I和第二膜层2的膨胀系数均小于1.2X 10_6/°C、热传导系数均小于10W/m -k,能使第一膜层I和第二膜层2不容易发生受热形变，从而保证了掩模板成膜的精密度。 本实施例中，采用满足上述物理参数性能的无纺布、UV固化胶或热固化胶材料制成的掩模板既能确保重量轻，又能保证成膜所需要满足的平坦度和精密度。其中，无纺布的耐受温度范围为400°C以内，而通常成膜的环境温度在180°C范围内，热固化胶的固化温度范围为10°C -200°C,UV固化胶的固化温度低于热固化胶的固化温度，因此该耐受温度能够确保无纺布在掩模板制作以及成膜过程中不会因温度超出了其耐受温度范围而损坏或变形。另外，采用无纺布、UV固化胶或热固化胶形成掩模板还大大节约了成本。 本实施例中，无纺布采用聚酰亚胺纤维、聚苯硫醚纤维、热塑性弹性体纤维、热塑性聚烯烃纤维、热熔接性复合纤维、麻纤维、粘结纤维、银纤维、环氧类化合物的聚乳酸纤维、碳纤维、烯烃系聚合物、涤纶化纤、锦纶化纤、粘胶化纤、聚丙烯、聚丙烯腈、聚酰胺、聚酯纤维、芳香族聚酯、棉纤维和丝纤维中的任意一种材料。这些材料中任意本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于成膜的掩模板，包括第一膜层和第二膜层，所述第二膜层覆叠在所述第一膜层上，其特征在于，所述第一膜层采用无纺布或陶瓷板，所述第二膜层采用UV固化胶或热固化胶。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王劭颛，
申请(专利权)人：合肥鑫晟光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34
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