【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多晶硅生产所用设备领域,尤其是一种新型多晶硅还原炉尾气冷凝器。
技术介绍
目前多晶硅生产中,尾气冷凝器在对还原炉产生的尾气进行冷却后,尾气中的无定形硅往往很难去除彻底,严重影响下一道工序。
技术实现思路
本技术技术任务是针对上述技术不足,提供了一种新型多晶硅还原炉尾气冷凝器。本技术解决技术问题所采用的技术方案是新型多晶硅还原炉尾气冷凝器, 包括冷凝器本体和尾气管,所述尾气管上设有阀门,所述尾气管上还设有Y型过滤器,用以截留还原炉产生的无定形硅,进而防止无定形硅对下一工序的影响。本技术所能带来的有益效果是1、很好的解决了还原炉产生的尾气中的无定形硅去除难的问题,而且安装简便, 稳定系、安全性高。附图说明图1、本技术整体结构示意图。具体实施方式以下结合附图,对本技术做以下详细说明如附图所示,新型多晶硅还原炉尾气冷凝器,包括冷凝器本体1和尾气管2,所述尾气管2上设有阀门3,所述尾气管2上还设有Y型过滤器4,用以截留还原炉产生的无定形硅,进而防止无定形硅对下一工序的影响,解决了还原炉产生的尾气中的无定形硅去除难的问题,而且安装简便,稳定系、安全性高。权利要求1.新型多晶硅还原炉尾气冷凝器,包括冷凝器本体和尾气管,所述尾气管上设有阀门, 其特征在于所述尾气管上还设有Y型过滤器。专利摘要本技术所公布的新型多晶硅还原炉尾气冷凝器,包括冷凝器本体和尾气管,所述尾气管上设有阀门,所述尾气管上还设有Y型过滤器,用以截留还原炉产生的无定形硅,进而防止无定形硅对下一工序的影响,解决了还原炉产生的尾气中的无定形硅去除难的问题,而且安装简便,稳定系、安全性高。文档编号B01D46 ...
【技术保护点】
1.新型多晶硅还原炉尾气冷凝器,包括冷凝器本体和尾气管,所述尾气管上设有阀门,其特征在于:所述尾气管上还设有Y型过滤器。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:聂兰坤,铁起,王同昭,卢绪峰,郭晓运,李明宝,
申请(专利权)人:厉启颂,
类型:实用新型
国别省市:37
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