【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多晶硅生产所用设备领域,尤其是一种新型多晶硅生产用尾气罐。
技术介绍
目前多晶硅生产中,尾气提纯能提高原料的利用率,但现在的尾气提纯采用的工艺中,主要存在以下问题外卖的三氯氢硅存放罐或其它二氯二氢硅含量较高的尾气罐,如果直接与提纯尾气管相连,容易返回精馏系统或返回车间,增加系统的排放量,增加了各塔的运行成本,影响到产品质量。
技术实现思路
本技术技术任务是针对上述技术不足,提供了一种新型多晶硅生产用尾气罐。本技术解决技术问题所采用的技术方案是新型多晶硅生产用尾气罐,包括罐体,该罐体通过连接管连有提纯尾气管,所述罐体同时通过多余尾气排出管与尾气总管相连,所述连接管、多余尾气排出管上都设有阀门。本技术所能带来的有益效果是1、尽早去除了尾气中二氯二氢硅等无用成分,避免了无用尾气再次返回精馏系统或车间造成的恶性循环,减少了系统排放量,降低了各塔运行成本,提高产品质量。附图说明图1、本技术整体结构示意图。具体实施方式以下结合附图,对本技术做以下详细说明如附图所示,本技术所公布的新型多晶硅生产用尾气罐,包括罐体1,该罐体 1通过连接管6连有提纯尾气管2,有用尾气从这里循环,进一步提纯,以尽可能的提高原料的利用率。所述罐体1同时通过多余尾气排出管3与尾气总管4相连,利用二氯二氢硅的沸点远低于三氯氢硅这一特性,在常温下即可尽早去除尾气中二氯二氢硅等无用成分,避免了无用尾气再次返回精馏系统或车间造成的恶性循环,减少了系统排放量,降低了各塔运行成本,提高产品质量。所述连接管6、多余尾气排出管3上都设有阀门5。权利要求1.新型多晶硅生产用尾气罐,包括罐体,该罐体通过连接管连 ...
【技术保护点】
1.新型多晶硅生产用尾气罐,包括罐体,该罐体通过连接管连有提纯尾气管,其特征在于:所述罐体同时通过多余尾气排出管与尾气总管相连,所述连接管、多余尾气排出管上都设有阀门。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:王同昭,郭晓运,李明宝,铁起,聂兰坤,卢绪峰,
申请(专利权)人:厉启颂,
类型:实用新型
国别省市:37
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