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新型多晶硅还原炉尾气冷凝器制造技术
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文档序号:7032633
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本实用新型所公布的新型多晶硅还原炉尾气冷凝器,包括冷凝器本体和尾气管,所述尾气管上设有阀门,所述尾气管上还设有Y型过滤器,用以截留还原炉产生的无定形硅,进而防止无定形硅对下一工序的影响,解决了还原炉产生的尾气中的无定形硅去除难的问题,而且安...
该专利属于厉启颂所有,仅供学习研究参考,未经过厉启颂授权不得商用。
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