热转化连接装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种热转化连接装置，该种装置包括腔室、热交换器；所述腔室、热交换器通过第一水管和第二水管水循环连接，第一水管和第二水管上分别设有第一阀体和第二阀体，第三水管设于所述第一阀体的上端和第二阀体的下端连通第一水管和第二水管，第四水管设于所述第一阀体的下端和第二阀体的上端连通第一水管和第二水管，所述第三水管、第四水管上分别设有第三阀体和第四阀体。所述装置控制阀体动作，通过第三水管、第四水管提供相反水流的循环水可以防止长时间同一方向流动产生水垢，降低热转化连接装置水流故障，降低更换成本，减少劳动力。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本实用 新型涉及一种热转化连接装置，特别涉及一种防止水垢沉积的热转化连接直O
技术介绍
半导体行业中的各种高温腔室需要用热交换器来保持腔室温度，现有的热转化连接装置包括腔室1、热交换器2、所述腔室1、热交换器2上分别设有相应的水管接头3，所述腔室1、热交换器2通过连接相应水管接头3的第一水管4和第二水管5连通，组成循环水路，第一水管4和第二水管5上分别设有第一阀体41和第二阀体51，所述第一水管4或第二水管5上设有监测水流量的水流量计8，热转化连接装置在同一方向水流A流动长时间后，水垢易沉积在水管接头3、水流量计8、水管壁以及腔室壁上，造成热转化连接装置水流量下降，发生水流故障，一般不容易除垢，需要进行腔室降温替换堵塞的部件，降低了生产效益，增加了更换成本以及增加了劳动力。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种防止水垢沉积的热转化连接装置。本技术的技术解决方案如下热转化连接装置，包括腔室、热交换器，所述腔室、热交换器通过第一水管和第二水管水循环连接，第一水管和第二水管上分别设有第一阀体和第二阀体，其特殊之处在于，还包括第三水管设于所述第一阀体的上端和所述第二阀体的下端连通第一水管和第二水管，第四水管设于所述第一阀体的下端和第二阀体的上端连通第一水管和第二水管，所述第三水管、第四水管上分别设有第三阀体和第四阀体。作为优选所述第一阀体、第二阀体、第三阀体、第四阀体为自动阀，由一双头电磁阀控制；第一阀体和第二阀体由双头电磁阀的一路控制，第三阀体和第四阀体由双头电磁阀的另一路控制。作为优选所述第一阀体、第二阀体、第三阀体、第四阀体为手动阀。作为优选所述第一水管或第二水管上设有监测热转化连接装置水流量的水流量计。作为优选所述腔室和热转化器上设有相应的水管接头。与现有技术相比，本技术的优点是提供反方向循环水流防止水流长时间同一方向流动，形成水垢沉积在腔室壁、水流量计、水管壁以及水管接头处，降低热转化连接装置水流故障，降低更换成本，减少劳动力。附图说明图1是现有技术的结构示意图。图2是本技术的结构示意图。图3是本技术除垢状态下的结构示意图。具体实施方式本技术下面将结合附图作进一步详述请参阅图1所示，现有技术的热转化连接装置，包括腔室1、热交换器2 ；所述腔室 1、热交换器2上分别设有相应的水管接头3，所述腔室1、热交换器2通过连接相应水管接头3的第一水管4和第二水管5连接，组成循环水路，第一水管4和第二水管5上分别设有第一阀体41和第二阀体51，所述第一水管4或第二水管5上设有监测热转化连接装置水流量的水流量计8 ；请参阅图2所示，在本实施例中，在现有技术的基础上，在第一阀体41的上端和第二阀体51的下端设有连通第一水管4和第二水管5的第三水管6，所述第一阀体 41的下端和第二阀体51的上端设有连通第一水管4和第二水管5的第四水管7，所述第三水管6、第四水管7上分别设有第三阀体61和第四阀体71，所述第一阀体41、第二阀体51、 第三阀体61、第四阀体71可为手动阀，也可为自动阀，由一双头电磁阀控制，所述第一阀体 41、第二阀体51由双头电磁阀的一路控制，所述第三阀体61、第四阀体71由双头电磁阀的另一路控制，所述双头电磁阀具有自动控制阀体动作，同步动作的优点。本技术的防止水垢沉积原理如下如图2、图3所示，腔室1和热转化器2在第一阀体41和第二阀体51打开时单向循环水流A下运行长时间后，水垢易沉积在水管接头 3、水流量计8、腔室壁以及水管壁上，造成热转化连接装置的水流量下降，发生水流故障，在本技术中，运行一段时间后，先关掉第一阀体41和第二阀体51，再打开第三阀体61和第四阀体71，热交换器2内的水流A不能从第二阀体51通过，而只能经打开第三阀体61的第三水管6流入第一水管41，而第一水管4的第一阀体41处于关闭中，水流流经腔室1流向第二水管5，而第二水管5上的第二阀体51也处于关闭中，水流流经打开第四阀体71的第四水管7流向热交换器2，在此过程中水流A在第一水管4、第二水管5以及腔室1内反方向流动形成循环水路B，冲洗循环管路的水垢。以上所述仅为本技术的较佳实施例，凡依本技术权利要求范围所做的均等变化与修饰，皆应属本技术权利要求的涵盖范围。权利要求1.一种热转化连接装置，包括腔室、热交换器，所述腔室、热交换器通过第一水管和第二水管水循环连接，第一水管和第二水管上分别设有第一阀体和第二阀体，其特征在于还包括第三水管设于所述第一阀体的上端和所述第二阀体的下端连通第一水管和第二水管， 第四水管设于所述第一阀体的下端和第二阀体的上端连通第一水管和第二水管，所述第三水管、第四水管上分别设有第三阀体和第四阀体。2.根据权利要求1所述的热转化连接装置，其特征在于所述第一阀体、第二阀体、第三阀体、第四阀体为自动阀，由一双头电磁阀控制；第一阀体和第二阀体由双头电磁阀的一路控制，第三阀体和第四阀体由双头电磁阀的另一路控制。3.根据权利要求1所述的热转化连接装置，其特征在于所述第一阀体、第二阀体、第三阀体、第四阀体为手动阀。4.根据权利要求1所述的热转化连接装置，其特征在于所述第一水管或第二水管上设有监测热转化连接装置水流量的水流量计。5.根据权利要求1所述的热转化连接装置，其特征在于所述腔室和热转化器上设有相应的水管接头。专利摘要本技术涉及一种热转化连接装置，该种装置包括腔室、热交换器；所述腔室、热交换器通过第一水管和第二水管水循环连接，第一水管和第二水管上分别设有第一阀体和第二阀体，第三水管设于所述第一阀体的上端和第二阀体的下端连通第一水管和第二水管，第四水管设于所述第一阀体的下端和第二阀体的上端连通第一水管和第二水管，所述第三水管、第四水管上分别设有第三阀体和第四阀体。所述装置控制阀体动作，通过第三水管、第四水管提供相反水流的循环水可以防止长时间同一方向流动产生水垢，降低热转化连接装置水流故障，降低更换成本，减少劳动力。文档编号H01L21/00GK202094104SQ20112023314公开日2011年12月28日 申请日期2011年7月4日 优先权日2011年7月4日专利技术者张恒, 顾少博 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种热转化连接装置，包括腔室、热交换器，所述腔室、热交换器通过第一水管和第二水管水循环连接，第一水管和第二水管上分别设有第一阀体和第二阀体，其特征在于：还包括第三水管设于所述第一阀体的上端和所述第二阀体的下端连通第一水管和第二水管，第四水管设于所述第一阀体的下端和第二阀体的上端连通第一水管和第二水管，所述第三水管、第四水管上分别设有第三阀体和第四阀体。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：顾少博，张恒，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31