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本实用新型涉及一种热转化连接装置，该种装置包括腔室、热交换器；所述腔室、热交换器通过第一水管和第二水管水循环连接，第一水管和第二水管上分别设有第一阀体和第二阀体，第三水管设于所述第一阀体的上端和第二阀体的下端连通第一水管和第二水管，第四水管...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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