八分之一波片相位延迟量和快轴方位角的测量装置制造方法及图纸

一种八分之一波片相位延迟量和快轴方位角的测量装置，该装置由准直光源、圆起偏器、衍射光栅、聚焦透镜、衰减器、检偏器阵列、光电探测器阵列和信号处理系统组成，本实用新型专利技术能实时地测量八分之一波片的相位延迟量和快轴方位角，而且测量结果不受光源光强波动的影响。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及八分之一波片，特别是一种八分之一波片相位延迟量和快轴方位角的测量装置。
技术介绍
八分之一波片广泛应用在非线性光学系统、光时复用系统、浸没光刻照明系统、光学传感器、特殊干涉仪、同步移相器等方面。八分之一波片通常被置于反射光路中使两次经过它的线偏振光转换成圆偏振光，其组合通常被置于透射光路中来改变光的偏振态。在八分之一波片的使用过程中，相位延迟量误差严重影响其使用效果，故需要精确地测量其相位延迟量。通常情况下八分之一波片的快轴方位角并未标明，在其使用过程中也需要精确地测量其快轴方位角，以便于其装配、调整。在先技术(参见王伟，李国华，吴福全等.测量波片延迟量和快轴方位角的新方法.中国激光，Vol. 30，1121-1123,2003)描述了一种可以测量八分之一波片的相位延迟量和快轴方位角的装置，该装置主要由光源、起偏器、检偏器和光电探测器组成。在测量过程中，勻速转动被测八分之一波片并对出射光强进行连续测量，获得出射光强随时间变化的曲线，利用出射光强随时间变化的正弦曲线上的波峰和波谷值来计算出相位延迟量，再利用变化曲线中第一个最大值出现的时间与被测八分之一波片的转动速度来计算出本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种八分之一波片的相位延迟量和快轴方位角的测量装置，其特征在于，该装置由准直光源（１）、圆起偏器（２）、衍射光栅（４）、聚焦透镜（５）、衰减器（６）、检偏器阵列（７）、光电探测器阵列（８）和信号处理系统（９）组成，其位置关系是：沿所述的准直光源（１）的光束前进方向上，依次是所述的圆起偏器（２）、衍射光栅（４）、聚焦透镜（５）、衰减器（６）、检偏器阵列（７）、光电探测器阵列（８），在所述的圆起偏器（２）和所述的衍射光栅（４）之间设置待测八分之一波片（３）的插口；所述的衰减器（９）的输入端相连。于所述的检偏器阵列（７）的第一检偏器（７０１）、第二检偏器（７０２）、第三检偏器（７０３）的输出光方...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：朱玲琳，张佩，鲍建飞，蔡舒窈，肖艳芬，曾爱军，黄惠杰，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：实用新型
国别省市：31