一种氟镓酸盐红外光学元件的超光滑低缺陷抛光方法技术

本发明专利技术公开了一种氟镓酸盐红外光学元件的超光滑低缺陷抛光方法，该加工方法包括：制备氟镓酸盐玻璃专用的特种抛光液，对氟镓酸盐红外光学元件进行低缺陷修形和超光滑抛光迭代加工，直至满足技术指标要求。本发明专利技术的加工方法中，制备了氟镓酸盐玻璃专用的特种抛光液，克服了氟镓酸盐玻璃材料的易潮解特性，还能有效抑制窗口镜表面缺陷的产生，进而显著提升加工的面形精度和表面质量，具有加工效率高、加工质量高、加工缺陷少等优势，为氟镓酸盐玻璃材料在红外窗口镜领域的广泛应用奠定坚实基础。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光学元件的超精密加工，涉及一种氟镓酸盐红外光学元件的超光滑低缺陷抛光方法。

技术介绍

1、氟镓酸盐玻璃是一种新型的红外玻璃，由于其具有优异的红外透过特性，在红外领域应用广泛。目前传统的氟镓酸盐玻璃采用环形抛光、单轴机加工，受到加工方式的限制对于球面或非球面镜很难进一步获得更高面形精度和更优表面质量。由于氟镓酸盐材料材质较软，化学稳定性差，易潮解，如附图1(a)所示，潮解区域表面粗糙度如附图1(b)所示，恶化至25nm rms，降低元件透过率。因此无法用常规的水基氧化铈抛光液对氟镓酸盐元件进行精密抛光，目前还不存在分散均匀、稳定性良好的油基氧化铈抛光液，因此亟需开发针对氟镓酸盐玻璃的特种抛光液及配套的超光滑低缺陷抛光方法。

2、中国专利技术专利cn106433478a(2016)报道了用于caf2材料的超光滑加工的磁流体抛光液及制备方法，但其是去离子水作为载液，无法用于氟镓酸盐材料的精密抛光；中国专利技术专利cn105364666a(2017)报道了一种微晶材料光学表面的离子束超光滑加工方法，但其加工效率较低，难以满足高效高精度加工本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种氟镓酸盐红外光学元件的超光滑低缺陷抛光方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种氟镓酸盐红外光学元件的超光滑低缺陷抛光方法，其特征在于，所述特种抛光液包含抛光磨料5～9wt％、表面活性剂0.5～1wt％、润湿剂0.5～1wt％及混合基载液89～94wt％。

3.根据权利要求2所述的一种氟镓酸盐红外光学元件的超光滑低缺陷抛光方法，其特征在于，所述的抛光磨料为氧化铈、氧化硅、氧化铁抛光粉中的至少一种；

4.根据权利要求3所述的一种氟镓酸盐红外光学元件的超光滑低缺陷抛光方法，其特征在于，所述的混合基载液包含去离子水35～45wt％...

【技术特征摘要】

1.一种氟镓酸盐红外光学元件的超光滑低缺陷抛光方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种氟镓酸盐红外光学元件的超光滑低缺陷抛光方法，其特征在于，所述特种抛光液包含抛光磨料5～9wt％、表面活性剂0.5～1wt％、润湿剂0.5～1wt％及混合基载液89～94wt％。

3.根据权利要求2所述的一种氟镓酸盐红外光学元件的超光滑低缺陷抛光方法，其特征在于，所述的抛光磨料为氧化铈、氧化硅、氧化铁抛光粉中的至少一种；

4.根据权利要求3所述的一种氟镓酸盐红外光学元件的超光滑低缺陷抛光方法，其特征在于，所述的混合基载液包含去离子水35～45wt％，二甲基硅油25～30...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷宇，万嵩林，王林，路晴，魏朝阳，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：