下载一种氟镓酸盐红外光学元件的超光滑低缺陷抛光方法的技术资料

文档序号:46612422

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本发明公开了一种氟镓酸盐红外光学元件的超光滑低缺陷抛光方法,该加工方法包括:制备氟镓酸盐玻璃专用的特种抛光液,对氟镓酸盐红外光学元件进行低缺陷修形和超光滑抛光迭代加工,直至满足技术指标要求。本发明的加工方法中,制备了氟镓酸盐玻璃专用的特种抛...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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