【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种镀膜设备,特别是涉及一种利用游离的气体沉积出薄膜的镀 膜设备。
技术介绍
进行镀膜一般是利用液体或气体为媒介,利用气体为媒介时,可将气体在游离产 生电浆后,进一步地沉积在一个待镀物上,而用来镀膜的镀膜装置通常包含一个电性接地 的腔体、一个安装在该腔体内的电极板,及一个电连接该电极板的电源。在进行镀膜时,是 在该腔体内置放该待镀物,并填充气体,并利用该电源在该电极板与待镀物间产生电位差, 使腔体内的气体游离,进而在该电极板与待镀物间产生电浆。该镀膜离子受到电场的引导 会沉积在该待镀物的表面上,以产生薄膜,达到在该待镀物上镀上一预定材料层的目的。因为包含镀膜离子的电浆会在该腔体内彼此碰撞,因此不可避免地会有部份的镀 膜离子朝该电极板移动,并附着在该电极板上。镀膜材料持续地累积在该电极板上,因此在 该镀膜装置使用一段时间后,为了清除累积的镀膜材料,必须更换新的电极板,或利用酸洗 的方式移除累积在该电极板上的镀膜材料。然而,在酸洗时必须先拆下电极板,此时该镀膜 装置必须停止运作,而且酸洗过程需花费一段时间,因此一般的镀膜装置维护时,不仅便利 性不足,还造成生产线停止运作,而降低生产效率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种方便维护而可提高效率的镀膜设备。本技术的方便维护的镀膜设备,可在一个待镀物上沉积一层薄膜,包含一个 中空的腔体、一个安装在该腔体内的电极,该电极包括一个朝向该待镀物的电极表面;该镀 膜设备还包含一个可拆离地盖设在该电极表面上且可导电的筛隔件,该筛隔件包括数个贯 穿的筛隔穿孔。本技术方便维护的镀膜设备还包含一个将该筛隔件可拆离地安装 ...
【技术保护点】
1.一种方便维护的镀膜设备,可在一个待镀物上沉积一层薄膜,包含:一个中空的腔体、一个安装在该腔体内的电极,该电极包括一个朝向该待镀物的电极表面;其特征在于:该镀膜设备还包含一个可拆离地盖设在该电极表面上且可导电的筛隔件,该筛隔件设有数个贯穿的筛隔穿孔。
【技术特征摘要】
1.一种方便维护的镀膜设备,可在一个待镀物上沉积一层薄膜,包含一个中空的腔 体、一个安装在该腔体内的电极,该电极包括一个朝向该待镀物的电极表面;其特征在于 该镀膜设备还包含一个可拆离地盖设在该电极表面上且可导电的筛隔件,该筛隔件设有...
【专利技术属性】
技术研发人员:唐以邻,唐世杰,
申请(专利权)人:八阳光电股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:71
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