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一种方便维护的镀膜设备，可在一待镀物上沉积薄膜，包含：一个中空的腔体、一个安装在该腔体内的电极，及一个可导电的筛隔件。该电极包括一个朝向该待镀物的电极表面。该筛隔件可拆离地盖设在该电极表面上，并包括数个贯穿的筛隔穿孔。因为该筛隔件罩住该电极...
该专利属于八阳光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过八阳光电股份有限公司授权不得商用。

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