一种用于低水汽含量封装的除气充气设备制造技术

本实用新型专利技术涉及气密性封装领域，具体涉及一种用于低水汽含量封装的除气充气设备。其特点在于：由真空系统、工作系统、充气系统三部分组成的除气充气设备，能够在MEMS传感器封装前对零部件进行除气，通过监测与控制装置降低设备自身及零部件的水汽含量和残余气体；同时可以按照相应工艺要求控制充入工艺气体纯度和压强，进而满足器件封装后对内部水汽含量、工艺气体纯度和压强控制的要求。本实用新型专利技术可以保证微小型器件封装腔体内水汽含量小于500×10-6、工艺气体纯度高于99％、气压精度控制在±100Pa以内。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
用于低水汽含量封装的除气充气设备，包括依次连接的真空系统（１０１）、工作系统（１０２）、充气系统（１０３）；真空系统（１０１）包括机械泵（１）、分子泵（３）、液氮冷阱（４）、真空计（６）和四个双通阀门（２、５、７、８），机械泵（１）通过双通阀门（２）与分子泵（３）的一端连接，分子泵（３）的另一端与液氮冷阱（４）的一端连接、液氮冷阱（４）的另一端分别与双通阀门（７）、双通阀门（８）和真空计（６）连接，机械泵（１）还依次通过双通阀门（５）、双通阀门（７）分别与真空计（６）、液氮冷阱（４）、双通阀门（８）连接；　　工作系统（１０２）包括真空计（１８），以及与真空计（１８）连接的若干路工作管路，每一路管路包括依次连接的三通阀门、双通阀门和密封罐；充气系统（１０３）包括并联的微调阀门（１９）和双通阀门（２０），微调阀门（１９）、双通阀门（２０）均与露点仪（２１）、真空计（２３）和充气管路连接；　　充气管路包括依次连接的双通阀门（２２）、储气罐（２５）、双通阀门（２７）、液氮冷阱（２８）、加热装置（２９）、气源（３０）；储气罐（２５）与露点仪（２４）、真空计（２６）连接；双通阀门（２７）、液氮冷阱（２８）之间安装有残余气体分析仪。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：丁凯，杨军，曲蕴杰，王登顺，王汝涛，刘迎春，廖兴才，安泰，秦岷，张菁华，
申请(专利权)人：北京自动化控制设备研究所，
类型：实用新型
国别省市：11