薄膜沉积设备和制造有机发光显示装置的方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种薄膜沉积设备和利用该薄膜沉积设备制造有机发光显示装置的方法。薄膜沉积设备包括多个薄膜沉积组件，每个薄膜沉积组件包括：沉积源，排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧，并包括多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，设置为面对沉积源喷嘴单元，并包括沿第一方向布置的多个图案化缝隙；障碍板组件，设置在沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间。障碍板组件包括将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间划分为多个子沉积空间的多个障碍板。

【技术实现步骤摘要】

本教导涉及一种薄膜沉积设备和利用该薄膜沉积设备制造有机发光显示装置的 方法。
技术介绍
由于有机发光显示装置具有的视角大、对比度特性优良、响应速度快，因此有机发 光显示装置作为下一代显示装置已备受瞩目。通常，有机发光显示装置具有堆叠的结构，堆 叠的结构包括阳极、阴极、设置在阳极和阴极之间的发射层。当从阳极和阴极分别注入的空 穴和电子在发射层中复合时，发射光以产生图像。然而，以这样的结构难以实现高发光效 率，因此选择性地将包括电子注入层、电子传输层、空穴传输层、空穴注入层等的中间层设 置在发射层和电极之间。此外，难以在诸如上述的中间层和发射层的有机薄膜中形成精细图案，且红光发 射效率、绿光发射效率、蓝光发射效率在不同的层中变化。由于这些原因，难以利用传统的 薄膜沉积设备来图案化大尺寸的目标(target)，诸如5G或更大的母玻璃。因此，难以制造 具有满意的驱动电压、电流密度、亮度、色纯度、发射效率、寿命特性的大的有机发光显示装 置。因此，存在对于这方面进行改进的需要。有机发光显示装置包括中间层，中间层包括设置在第一电极和第二电极之间的发 射层。可以利用各种方法来形成电极和中间层，所述方法之一是沉积方法。当利用沉积方法 来制造有机发光显示装置时，将图案与将要形成的薄膜的图案相同的精细金属掩模(FMM) 设置为与基底紧密接触。在FMM上方沉积薄膜材料，以形成具有期望的图案的薄膜。
技术实现思路
本教导提供一种可以容易地制造的薄膜沉积设备，该薄膜沉积设备可以简单地大 规模地制造大基底，该薄膜沉积设备提高了生产率和沉积效率，该薄膜沉积设备允许沉积 材料被再利用。本教导还提供一种利用该薄膜沉积设备制造有机发光显示装置的方法。根据本教导的一方面，提供了一种薄膜沉积设备，该薄膜沉积设备用于在基底上 形成薄膜，所述设备包括多个薄膜沉积组件，每个薄膜沉积组件包括沉积源，排放沉积材 料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源上，并包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化 缝隙片，设置为面对沉积源喷嘴单元，并包括沿第一方向布置的多个图案化缝隙；障碍板组 件，设置在沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间，并包括将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙 片之间的空间划分为多个子沉积空间的多个障碍板。薄膜沉积设备与基底分开预定的距 离，薄膜沉积设备和基底可相对于彼此移动。根据本教导的多方面，沉积源可以分别包含不同的沉积材料。根据本教导的多方面，沉积材料可以同时沉积在基底上。根据本教导的多方面，薄膜沉积组件的数量可以为至少三个，分别包含在沉积源 中的沉积材料可以形成红发射层、绿发射层、蓝发射层。根据本教导的多方面，沉积材料可以在基底和薄膜沉积设备中的一者相对于另一 者移动的同时连续地沉积在基底上。根据本教导的多方面，薄膜沉积设备和基底中的至少一个可以是可沿与基底的表 面平行的平面相对于彼此移动的。根据本教导的多方面，图案化缝隙片可以小于基底。根据本教导的多方面，障碍板组件可以将排放的沉积材料引导到图案化缝隙片。根据本教导的多方面，沉积源的沉积温度可以是可被单独地控制的。根据本教导的多方面，每个薄膜沉积组件的多个图案化缝隙可以相对于其他的薄 膜沉积组件的图案化缝隙偏移预定的距离。根据本教导的多方面，多个图案化缝隙片可以一体化地形成为单个的图案化缝隙 片。根据本教导的多方面，单个的图案化缝隙片可以包括成行的图案化缝隙，每行的 图案化缝隙相对于其他行的图案化缝隙偏移预定的距离。根据本教导的多方面，每个薄膜沉积组件的图案化缝隙可以具有不同的长度。根据本教导的多方面，可以根据图案化缝隙的长度来控制沉积在基底上的沉积材 料的量。根据本教导的多方面，每个障碍板可以沿与第一方向基本垂直的第二方向延伸， 以划分沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间。根据本教导的多方面，障碍板可以按相等的间距分开。根据本教导的多方面，每个障碍板组件可以包括第一障碍板组件，包括多个第一 障碍板；第二障碍板组件，包括多个第二障碍板。根据本教导的多方面，每个第一障碍板和每个第二障碍板可以沿与第一方向基本 垂直的第二方向延伸，以划分沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间。根据本教导的多方面，可以成对地布置第一障碍板和第二障碍板。根据本教导的多方面，每对第一障碍板和第二障碍板可以布置在基本上同一平面 上。根据本教导的另一方面，提供了一种利用薄膜沉积设备制造有机发光显示装置的 方法，薄膜沉积设备用于在基底上形成薄膜，所述方法包括如下步骤将基底布置为与薄膜 沉积设备分开预定的距离；在薄膜沉积设备和基底中的一者相对于另一者移动的同时，将 从薄膜沉积设备排放的沉积材料沉积到基底上。薄膜沉积设备包括薄膜沉积组件，薄膜沉 积组件包括沉积源，排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源上，并包括沿第一方 向布置的多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，设置为面对沉积源喷嘴单元，并包括沿第一方向 布置的多个图案化缝隙；障碍板组件，设置在沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间，并包括 将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间划分为多个子沉积空间的多个障碍板。根据本教导的多方面，在基底上沉积沉积材料的步骤包括在基底和薄膜沉积设备 中的一者相对于另一者移动的同时在基底上连续地沉积排放的沉积材料。根据本教导的多方面，薄膜沉积设备可以包括分别排放不同的沉积材料的多个薄 膜沉积组件。根据本教导的多方面，在基底上沉积沉积材料的步骤包括在基底上同时沉积不同 的沉积材料。根据本教导的多方面，在基底上沉积沉积材料的步骤包括在基底上形成红发射 层、绿发射层、蓝发射层。根据本教导的多方面，在基底上沉积沉积材料的步骤还可以包括将沉积材料加热 到不同的温度。根据本教导的多方面，在基底上沉积沉积材料的步骤还可以包括从薄膜沉积组件 排放不同量的沉积材料。本教导的另外的方面和/或优点将在下面的描述中进行一定程度地阐述，并且在 一定程度上通过描述而变得明显，或者可以通过实施本教导来获知。附图说明通过下面结合附图对示例性实施例的描述，本教导的这些和/或其他方面和优点 将变得明显并更易于理解，在附图中图1是根据本教导示例性实施例的通过利用薄膜沉积设备制造的有机发光显示 装置的平面图；图2是图1中示出的有机发光显示装置的子像素的剖视图；图3是根据本教导示例性实施例的薄膜沉积组件的示意性透视图；图4是图3中示出的薄膜沉积组件的示意性剖视图；图5是图3中示出的薄膜沉积组件的示意性俯视图；图6A是用于描述根据本教导示例性实施例的图3的薄膜沉积组件中沉积材料的 沉积的示意图；图6B示出根据本教导示例性实施例的当如图6A中所示沉积空间通过障碍板划分 时沉积在基底上的薄膜的阴影区域(shadow zone)；图6C示出当沉积空间没有被划分时沉积在基底上的薄膜的阴影区域；图7是根据本教导示例性实施例的薄膜沉积设备的示意性透视图；图8是根据本教导另一示例性实施例的薄膜沉积设备的示意性透视图；图9是根据本教导另一示例性实施例的薄膜沉积设备的示意性透视图；图10是根据本教导另一示例性实施例的薄膜沉积组件的示意性透视图。具体实施例方式现在将对本教导的示例性实施例进行详细说明，在附图中示出了它们的示例，其 中，相同的标号始终表示相同的元件。下面通过参照附图对示例性实施例进行描述，以说明 本本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜沉积设备，该薄膜沉积设备用于在基底上形成薄膜，所述设备包括多个薄膜沉积组件，每个薄膜沉积组件包括：沉积源，排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源上，并包括沿第一方向分开的多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，设置为面对沉积源喷嘴单元，并包括沿第一方向分开的多个图案化缝隙；障碍板组件，设置在沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间，并包括将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间划分为多个子沉积空间的多个第一障碍板，其中，薄膜沉积设备和基底分开，薄膜沉积设备和基底中的一者相对于另一者是能够移动的。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：吴枝淑，崔镕燮，金钟宪，康熙哲，李润美，曹昌睦，
申请(专利权)人：三星移动显示器株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]