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薄膜沉积设备和制造有机发光显示装置的方法制造方法及图纸
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文档序号:6327780
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本发明提供一种薄膜沉积设备和利用该薄膜沉积设备制造有机发光显示装置的方法。薄膜沉积设备包括多个薄膜沉积组件,每个薄膜沉积组件包括:沉积源,排放沉积材料;沉积源喷嘴单元,设置在沉积源的一侧,并包括多个沉积源喷嘴;图案化缝隙片,设置为面对沉积源...
该专利属于三星移动显示器株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星移动显示器株式会社授权不得商用。
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