一种三氯氢硅提纯装置制造方法及图纸

技术编号:6277961 阅读:341 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种三氯氢硅提纯装置,属于化工生产设备技术领域,目的是提供一种能够提取高纯度三氯氢硅和四氯化硅、且可以大幅度地降低尾气总量的提纯装置,其技术方案是:它采用脱轻塔、两级三氯氢硅精馏塔和四氯化硅精馏塔结构,脱轻塔与第一级三氯氢硅精馏塔、第二级三氯氢硅精馏塔依次连接,四氯化硅精馏塔接在第二级三氯氢硅精馏塔后,在第二级三氯氢硅精馏塔与四氯化硅精馏塔之间还接有中间罐。本实用新型专利技术的优点是:高纯三氯氢硅产品中的B含量得到了明显的降低,可以适用目前国内所有多晶硅生产厂家的要求;高纯三氯氢硅产品的纯度及收率均得到了明显的提高;四氯化硅纯度可以适用各气相白炭黑厂家的使用要求;尾气总量得到大幅度的降低。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种三氯氢硅的提纯装置,属于化工生产设备

技术介绍
三氯氢硅(SiHC13)又称三氯硅烷或硅氯仿,为无色液体,遇水分解,溶于苯、醚等 有机溶剂。三氯氢硅是制造硅烷偶联剂和其它有机硅产品的重要中间体,还是制造多晶硅 的主要原料。目前,很多的生产多晶硅的厂家都是采用外购纯度为99%以上的三氯氢硅 作为初始原料,其中含少量SiH2C12、SiC14杂质,该原料需进一步精制,以提高三氯氢硅纯 度,再进行还原生产多晶硅产品。随着对多晶硅产品质量不断提高,多晶硅生产厂家也相 应了提高了初始三氯氢硅产品质量,从而迫使一些三氯氢硅生产厂家对原精馏工艺进行改 造。由于多晶硅厂家本身精馏设备的不同,对初始三氯氢硅产品中B含量(质量分数)的 要求也不相同,一般来讲分为B含量彡4父10_7(以肌13计)和B含量彡5X10_8两种。传统的分离方法是合成料进入三氯氢硅精馏塔,靠塔釜再沸器蒸汽的加热气化, 温度为89°C左右压力约为0. 27MPa。回流液三氯氢硅纯度合格后采出高纯三氯氢硅作为多 晶硅原料,未被冷凝的气相料主要为低沸物经塔放空至尾气冷凝器再次冷凝回收,其余未 凝气体排放至淋本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三氯氢硅提纯装置,它包括三氯氢硅精馏塔、四氯化硅精馏塔,其特征在于:它增加了脱轻塔[1],并采用两级三氯氢硅精馏塔,脱轻塔[1]与第一级三氯氢硅精馏塔[8]连接,第二级三氯氢硅精馏塔[12]接在第一级三氯氢硅精馏塔[8]后,四氯化硅精馏塔[20]接在第二级三氯氢硅精馏塔[12]后,在第二级三氯氢硅精馏塔[12]与四氯化硅精馏塔[20]之间还接有中间罐[16]。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:孙亮
申请(专利权)人:唐山三孚硅业有限公司
类型:实用新型
国别省市:13[中国|河北]

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