The utility model discloses an ammonia adsorption purification device, raw materials can be purified to high purity ammonia and high purity above, including the level of grade two, adsorber, three adsorber adsorber, adsorber connected valve, hot nitrogen purge, sewage outfall; export a top two connected adsorber adsorber bottom air inlet and the outlet of the two top adsorber connected to a three level adsorber bottom air inlet, hot nitrogen purge port and the sewage outfall respectively in the top and bottom of the adsorber, devices and valves are connected by stainless steel pipe. The utility model has the advantages of strong innovation, less investment, superior performance, can effectively remove the raw material ammonia (99.8%) oxygen, nitrogen, carbon dioxide, water, sulfide and other harmful impurities in the total impurity content of high purity ammonia removal after less than 5ppm; and save energy consumption, less pollution, through the device, the economic value is low raw material ammonia conversion after being absorbed into ammonia concentration, increasing the value of products.
【技术实现步骤摘要】
一种氨气提纯用吸附装置
本技术涉及气体纯化设备领域,特别涉及一种氨气提纯用吸附装置。
技术介绍
太阳能做为一种清洁、高效的可再生能源,能广泛应用于家庭发电系统和大型商业光伏项目等诸多领域,高纯氨气在CVD(化学气相沉积)过程中为生产氮化硅薄膜提供氮源,是硅片清洗过程不可缺少的重要工艺气体,当然也是太阳能光伏行业必不可少的重要电子原料气体。目前国内原料氨市场颇多,含量均在99.8%左右,而高纯及以上的氨气(99.999%-99.9995%)相对却很少;同时国内外高纯及以上的氨气价格也都是非常高。因此由原料氨气提纯适用于太阳能行业的高纯氨气势在必行,十分有必要研发新的设备用以提纯原料氨气。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种氨气提纯用吸附装置;公开的多级吸附串联装置能够提高装置的吸附能力、增强装置的吸附深度、增加原料氨气的使用价值,得到更高纯度(6N、7N)的氨气。本技术的技术方案是:一种氨气提纯用吸附装置,包括依次连接的一级吸附器、二级吸附器以及三级吸附器;所述一级吸附器包括一级吸附器壳体以及位于一级吸附器壳体内的多孔陶瓷吸附装置;所述二级吸附器包括二级吸附器壳体以及位于二级吸附器壳体内的一号分子筛;所述三级吸附器包括三级吸附器壳体以及位于三级吸附器壳体内的二号分子筛;所述一级吸附器接有原料氨气进管;所述三级吸附器接有高纯氨气出管;所述一级吸附器设有排污口;所述二级吸附器设有排污口;所述三级吸附器设有排污口;所述一号分子筛的孔径大于所述二号分子筛的孔径。本技术中,一级吸附器、二级吸附器、三级吸附器依次通过不锈钢管道连接;吸附器壳体可以为圆柱形也可以为其他形状, ...
【技术保护点】
一种氨气提纯用吸附装置,其特征在于:包括依次连接的一级吸附器、二级吸附器以及三级吸附器;所述一级吸附器包括一级吸附器壳体以及位于一级吸附器壳体内的多孔陶瓷吸附装置;所述二级吸附器包括二级吸附器壳体以及位于二级吸附器壳体内的一号分子筛;所述三级吸附器包括三级吸附器壳体以及位于三级吸附器壳体内的二号分子筛;所述一级吸附器接有原料氨气进管;所述三级吸附器接有高纯氨气出管;所述一级吸附器设有排污口;所述二级吸附器设有排污口;所述三级吸附器设有排污口;所述一号分子筛的孔径大于所述二号分子筛的孔径。
【技术特征摘要】
1.一种氨气提纯用吸附装置,其特征在于:包括依次连接的一级吸附器、二级吸附器以及三级吸附器;所述一级吸附器包括一级吸附器壳体以及位于一级吸附器壳体内的多孔陶瓷吸附装置;所述二级吸附器包括二级吸附器壳体以及位于二级吸附器壳体内的一号分子筛;所述三级吸附器包括三级吸附器壳体以及位于三级吸附器壳体内的二号分子筛;所述一级吸附器接有原料氨气进管;所述三级吸附器接有高纯氨气出管;所述一级吸附器设有排污口;所述二级吸附器设有排污口;所述三级吸附器设有排污口;所述一号分子筛的孔径大于所述二号分子筛的孔径。2.根据权利要求1所述氨气提纯用吸附装置,其特征在于:所述一级吸附器、二级吸附器、三级吸附器依次通过不锈钢管道连接。3.根据权利要求1所述氨气提纯用吸附装置,其特征在于:所述一级吸附器壳体、二级吸附器壳体、三级吸附器壳体都为圆柱形。4.根据权利要求1所述氨气提纯用吸附装置,其特征在于:所述多孔陶瓷吸附装置的过滤精度为...
【专利技术属性】
技术研发人员:许军州,金向华,陈琦峰,张亿,郑黎,孙浩杰,宗立冬,
申请(专利权)人:苏州金宏气体股份有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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