The invention provides a simple and convenient use from industrial exhaust gas recovery and purification, neon, method and device for preparing high purity neon neon, remove particulate impurities after filtering and recovering industrial exhaust gas, compressed, chemical reaction and impurity removal, adsorption cooling, low temperature to obtain high purity neon flash. The invention can recycle semiconductor factory used by neon, cheaper liquid nitrogen as a cold source, the use of high vacuum and cold insulation screen, the impurity adsorption and cryogenic distillation separation of neon, with low cost, neon gas purification.
【技术实现步骤摘要】
一种氖气回收提纯的方法及装置
本专利技术涉及一种气体纯化方法及装置,尤其涉及一种从工业排放气体中回收氖气,并提纯、制备高纯度氖气的方法及装置。
技术介绍
氖气(Ne)是一种无色、无味、非易燃的稀有气体,在空气中的氖气含量约为18ppm。常温下氖气为气态的惰性气体,不燃烧,也不助燃。目前氖气主要是从空气中分离获得(空分法):用精馏法从大型空分装置中提取粗氦、氖混合气,然后由粗氦、氖混合气经除氢、除氮后获得纯度99.95%以上的纯氖氦混合气,再经分离、纯化可制得99.999%的高纯氖,整个流程环节所需要的能耗非常高。氖气在工业、生活中应用广泛,主要应用包括:1)用作霓虹灯、以及电子工业产品的填充介质(例如高压氖灯、计数管等);2)用于激光技术,做视发光指示灯、电压调节、以及激光混合气成份;3)氖氧混合气代替氦氧气用于呼吸;4)用作低温冷却剂、标准气、特种混合气等;5)用于高能物理研究,例如:充满氖的火花室来探测微粒的行径;6)在半导体及高端电子产品制造中使用。氖气在应用领域中作为工业废气排出,是一种极大的资源浪费。而且氖气排放环境中氖气浓度过高,一旦发生泄漏,会降低氧气分压,导致环境中人出现疲倦乏力、烦躁不安、恶心、呕吐、昏迷、抽搐,以致死亡。因此,氖气作为工业废气排放不符合当今社会可持续发展的生产理念。但是,目前尚缺乏一种工艺简单、使用方便的从工业排放的废气中回收和精制高纯度氖气的技术和装置。
技术实现思路
针对目前缺乏从工业排放的废气中回收和精制高纯度氖气的技术和装置的现状,本专利技术提供了一种工艺简单、使用方便的从工业排放气体中回收氖气,并提纯、制备高纯度氖 ...
【技术保护点】
一种氖气回收提纯方法,其特征在于,步骤包括:——将氖工业尾气进行,并过滤去除颗粒杂质;——将氖工业尾气进行压缩;——将压缩的氖工业尾气通过吸附剂进行一级吸附纯化;——吸附纯化后的氖工业尾气进行冷却至‑270℃至‑200℃,然后在‑203℃温度下进行闪蒸;获得低温氖气;——低温氖气通过第二吸附剂进行二级吸附纯化,获得纯氖气。
【技术特征摘要】
1.一种氖气回收提纯方法,其特征在于,步骤包括:——将氖工业尾气进行,并过滤去除颗粒杂质;——将氖工业尾气进行压缩;——将压缩的氖工业尾气通过吸附剂进行一级吸附纯化;——吸附纯化后的氖工业尾气进行冷却至-270℃至-200℃,然后在-203℃温度下进行闪蒸;获得低温氖气;——低温氖气通过第二吸附剂进行二级吸附纯化,获得纯氖气。2.根据权利要求1所述的氖气回收提纯方法,其特征在于,所述压缩的氖工业尾气在进行一级吸附纯化,还进行一级冷却至30℃以下。3.根据权利要求2所述的氖气回收提纯方法,其特征在于,所述压缩的氖工业尾气在进行一级冷却之前还进行化学反应纯化,用于脱除氟、氧、氮气体或它们化合物中的至少一种或几种。4.根据权利要求1所述的氖气回收提纯方法,其特征在于,用分子筛进行所述一级吸附纯化,以去除二氧化碳、水、碳氢化合物中的至少一种或几种。5.根据权利要求1所述的氖气回收提纯方法,其特征在于,所述一级吸附、二级吸附分别独立地采用并联的至少两个吸附设备实施,和/或所述闪蒸采用并联的至少两个闪蒸设备实施。6.一种氖气回收提纯装置,其特征在于,包括:——收集罐,用于氖工业废气的收集;——过滤设备,用于对氖工业废气中的颗粒杂质进行过滤;——压缩机,对过滤后的氖工业废气进行压缩;其中,在一种优选实施例中,所述过滤设备可以是独立设置,气体管道从收集罐出口依次连接过滤设备和压缩机;在另一种优选实施例中,过滤设备集成于所述收集罐内气体流路中,收集罐气体出口连接所述压缩机;——化学反应器,压缩机出口通过气体管道连接至所述化学反应器,所述化学反应器内优选为设置有反应床...
【专利技术属性】
技术研发人员:王耀亮,
申请(专利权)人:上海跃绅能源科技有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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