【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及三氯氢硅生产
，具体涉及一种三氯氢硅合成尾气净化系统。
技术介绍
现有技术中，三氯氢硅主要是通过冶金级硅粉与氯化氢气体在流化床合成炉内进行气固非均相反应而生成，从合成炉排出的合成尾气中不仅含有氯硅烷(三氯氢硅、四氯化硅和二氯二氢硅)、氢气和氯化氢，还含有金属氯化物和氯硅烷高聚物等，同时携带少量的固体硅粉颗粒。从合成炉排出的合成尾气需要经过干法除尘系统除去其中较大颗粒的硅粉，再经过湿法除尘系统除去其中的细小硅粉、金属氯化物和氯硅烷高聚物等，然后经过干法尾气回收系统进行冷却、分离，以回收氯硅烷、氢气和氯化氢。传统的尾气湿法除尘装置按照回流方式可分为自然回流型和强制回流型。其中，自然回流型尾气湿法除尘装置(也可称为自然回流型洗涤塔)的工作原理为：来自干法除尘系统的合成尾气从洗涤塔下部进入洗涤塔，合成尾气自下而上与来自洗涤塔顶部自上而下的氯硅烷回流液逆流接触，进行传热传质，合成尾气中的细小硅粉、金属氯化物和高聚物被氯硅烷回流液淋洗下来并在洗涤塔塔釜聚集，通过塔釜定期排液将洗涤塔塔釜中硅粉、金属氯化物和高聚物的浓度控制在一定的范围内，经过洗涤后的合成尾...
【技术保护点】
一种三氯氢硅合成尾气净化系统，所述合成尾气包括硅粉、高沸点组分和低沸点组分，其特征在于，所述净化系统包括洗涤塔和粗馏塔，所述洗涤塔用于通过氯硅烷洗涤液对所述合成尾气进行淋洗处理，所述合成尾气中的硅粉和部分高沸点组分随氯硅烷洗涤液从洗涤塔的排液口输出至残液吸收系统，所述合成尾气中的低沸点组分、其余高沸点组分和氯硅烷洗涤液中的低沸点组分作为初步净化后的合成尾气从洗涤塔的气相出口输出至粗馏塔；所述粗馏塔用于通过氯硅烷洗涤液对所述初步净化后的合成尾气进行淋洗处理，所述初步净化后的合成尾气中的其余高沸点组分随氯硅烷洗涤液从粗馏塔的排液口输出至废氯硅烷储罐，所述初步净化后的合成尾气中的...
【技术特征摘要】
1.一种三氯氢硅合成尾气净化系统，所述合成尾气包括硅粉、高沸点组分和低沸点组分，其特征在于，所述净化系统包括洗涤塔和粗馏塔，所述洗涤塔用于通过氯硅烷洗涤液对所述合成尾气进行淋洗处理，所述合成尾气中的硅粉和部分高沸点组分随氯硅烷洗涤液从洗涤塔的排液口输出至残液吸收系统，所述合成尾气中的低沸点组分、其余高沸点组分和氯硅烷洗涤液中的低沸点组分作为初步净化后的合成尾气从洗涤塔的气相出口输出至粗馏塔；所述粗馏塔用于通过氯硅烷洗涤液对所述初步净化后的合成尾气进行淋洗处理，所述初步净化后的合成尾气中的其余高沸点组分随氯硅烷洗涤液从粗馏塔的排液口输出至废氯硅烷储罐，所述初步净化后的合成尾气中的低沸点组分和氯硅烷洗涤液中的低沸点组分作为二次净化后的合成尾气从粗馏塔的气相出口输出至氯硅烷冷却及提纯系统。2.根据权利要求1所述的净化系统，其特征在于，所述净化系统还包括塔顶冷凝器和回流泵，所述塔顶冷凝器用于对所述二次净化后的合成尾气进行冷却处理，其中未凝气从塔顶冷凝器的气相出口输出至氯硅烷冷却及提纯系统，冷凝下来的液体作为氯硅烷回流液从塔顶冷凝器的液相出口输出至回流泵进口；所述回流泵用于对氯硅烷回流液进行增压处理，并将增压处理后的氯硅烷回流液输出至洗涤塔的进液口。3.根据权利要求2所述的净化系统，其特征在于，所述回流泵还用于将增压处理后的氯硅烷回流液输出至粗馏塔的进液口。4.根据权利要求3所述的净化系统，其特征在于，所述回流
\t泵输出至洗涤塔的氯硅烷回流液的量占回流泵输送的氯硅烷回流液总量的60％-70％；回流泵输出至粗...
【专利技术属性】
技术研发人员：武珠峰，郭小红，吴昌勇，
申请(专利权)人：新特能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：新疆;65
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