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本发明提供一种三氯氢硅合成尾气净化系统，包括洗涤塔和粗馏塔，洗涤塔用于通过氯硅烷洗涤液对合成尾气进行淋洗处理，合成尾气中的硅粉和部分高沸点组分随氯硅烷洗涤液从洗涤塔的排液口输出至残液吸收系统，低沸点组分、其余高沸点组分和氯硅烷洗涤液中的低沸...
该专利属于新特能源股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新特能源股份有限公司授权不得商用。

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