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一种三氯氢硅提纯装置，属于化工生产设备技术领域，目的是提供一种能够提取高纯度三氯氢硅和四氯化硅、且可以大幅度地降低尾气总量的提纯装置，其技术方案是：它采用脱轻塔、两级三氯氢硅精馏塔和四氯化硅精馏塔结构，脱轻塔与第一级三氯氢硅精馏塔、第二级三...
该专利属于唐山三孚硅业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过唐山三孚硅业有限公司授权不得商用。

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