具有微机电元件的封装结构及其制造方法技术

技术编号:5985678 阅读:211 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种具有微机电元件的封装结构及其制造方法,其中该封装结构包括:芯片,该芯片上具有多个电性连接垫与微机电元件;盖体,设于该芯片上并罩住该微机电元件;凸块,设于各电性连接垫上;封装层,设于该芯片上,且该凸块的部分表面外露于该封装层表面;以及金属导线层,设于该封装层上并连接该凸块。本发明专利技术的具有微机电元件的封装结构直接于芯片上完成封装,故整体的厚度较薄、成本较低、且制作时间较短。本发明专利技术还提供一种具有微机电元件的封装结构的制造方法。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
1.一种具有微机电元件的封装结构,其特征在于,所述封装结构包括:芯片,该芯片上具有多个电性连接垫与微机电元件;盖体,设于该芯片上并罩住该微机电元件;凸块,设于各电性连接垫上;封装层,设于该芯片上,并包覆该凸块与电性连接垫,其中,该封装层具有包覆该盖体的凸出部,且该凸块的部分表面外露于该封装层表面;以及金属导线层,设于该封装层上并连接该凸块,该金属导线层具有多个接触垫。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:詹长岳黄建屏柯俊吉黄君安黄致明
申请(专利权)人:矽品精密工业股份有限公司
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]

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