【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微结构，包括：一基板，具有一表面；以及一结构层，设置于该基板的该表面上并具有至少一凹部，且该凹部具有一侧壁、一深度与一宽度；其中，该凹部的加工精度不大于０．０１ｍｍ，且该侧壁的倾斜角度不小于５度，且该深度与该宽度的比值不小于２。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡欣昌，张育儒，邢泰刚，
申请(专利权)人：台达电子工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]
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