【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种MEMS器件,其特征在于,该MEMS器件具有: 固定电极,其形成在半导体基板上,由硅构成; 可动电极,其与所述半导体基板隔开间隙并以机械可动的状态配置,该可动电极由硅构成;和 配线层叠部,其形成在所述可动电极的周围,并且以覆盖所述固定电极的一部分的方式形成,该配线层叠部包括配线, 在所述固定电极或者所述可动电极中射入有杂质离子,而且 所述固定电极的由所述配线层叠部覆盖的部分的至少一部分转化为了硅化物。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:稻叶正吾,佐藤彰,渡边徹,森岳志,
申请(专利权)人:精工爱普生株式会社,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
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