微结构化工具以及利用激光烧蚀制备微结构化工具的方法技术

本文公开一种微结构化工具，所述微结构化工具具有：微结构化层，其包含聚合物并具有微结构化表面；镍层，其设置成在与微结构表面相对的一侧与微结构化层相邻；以及基底层，其设置成在与微结构化层相对的一侧与镍层相邻。微结构化表面可以有至少一个特征，该特征的最大深度最多高达约１０００μｍ。本文还公开了使用激光烧蚀法来制造微结构化工具的方法。微结构化工具可以用于制造适用于光学应用的制品。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种微结构化工具，包括：　微结构化层，其包含聚合物并具有微结构化表面，所述微结构化表面包括一个或多个特征；　镍层，其含有镍，所述镍层设置成在与所述微结构化表面相对的一侧与所述微结构化层相邻；以及　基底层，其含有金属、聚合物 、陶瓷或玻璃，所述基底层设置成在与所述微结构化层相对的一侧与所述镍层相邻。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：帕特里克R弗莱明，保罗E洪帕尔，托马斯Rj科里根，托德R威廉姆斯，塔德塞G尼加图，
申请(专利权)人：三M创新有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]